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COBRA DS 1200/1800 A

Tornillo

La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes

Alto rendimiento

Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para aplicaciones solares, paneles planos y semiconductores, así como procesos exigentes con gases a altas temperaturas, tales como el grabado al agua fuerte y la CVD, excelente gestión del polvo, tornillo recubierto de tantalio para aplicaciones severas

Eficientes

Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, gran capacidad de hidrógeno, bajo consumo energético, control de temperatura variable

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados en una bancada compacta, bajo nivel de vibración

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Producción de pantallas planas
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
  • Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
  • Cámaras Load Lock
  • Deposición física de vapor (PVD)
Metalurgia
  • Recubrimiento
Producción de semiconductores
  • Duro
Industria de la energía solar
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)