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Turbo TM 1100 - 2200 A

Turbo는 Busch의 새로운 터보 진공 펌프 제품입니다. Turbo 진공 펌프는 산업용 고진공 응용 분야를 위해 사용하도록 개발되었습니다.

무 오일
Turbo 진공 펌프는 최고 1 x 10-10hPa(mbar) 의 고진공 응용 분야에서 고속 가스 펌핑에 맞도록 설계되었습니다. 작동 오일 없이 가스가 이송됩니다.

어플리케이션 지향성
최대의 부하나 원치 않은 가스누출이 발생하더라도 Turbo 진공 펌프는 고속 펌핑에 영향을 받지 않습니다. 진공 펌프를 어떠한 위치에 설치하더라도 작동할 수 있습니다. 동급에서 가장 컴팩트하게 설계되어, 작은 크기에서 최대 펌핑 용량을 제공 합니다.
가동 신뢰성 및 안전한 작동
구동부와 제어 시스템이 펌프 하우징 안에 같이 내장되어 있습니다. 표준 sealing gas 및 flush connection 을 사용 합니다.

응용 분야
Turbo 진공 펌프는 다음과 같은 다양한 산업용 고진공 응용 분야에서 사용하기에 적합합니다.
• Vacuum furnaces (퍼니스)
• Surface treatments (표면 처리)
• Coating units (코팅 장치)
• Physical vapour deposition (PVD)
• Thin film coating (박막 코팅)


Turbo – 산업용 고진공 공정에서 우수한 성능

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기술 사양
Busch 터보 진공 펌프 Turbo TM 1100-2200 A 는 터빈 원리에 따라 작동합니다. 빠르게 회전하는 로터 (회전자)의 날이 스테이터 (고정자) 날 사이에서 회전합니다. 이로 인한 충격이 진공 펌프 내부에 무질서하게 흩어져 있는 가스 입자에게 전달되면 결과적으로 제어된 가스의 기류가 진공 펌프의 유입구에서 배출구로 이동하게 됩니다. 이러한 운동량을 발생시키기 위해 로터는 30.000 min-1 이상의 원주 속도에 도달합니다. 고압 단계의 통합으로 fore-vacuum의 압력 상승으로 인해, fore pump의 크기가 작아져서 더욱 효과적인 진공 시스템을 구성할 수 있습니다. 영구 윤활 처리된 세라믹 베어링을 사용하여 작동 시간이 20만 시간 이상으로 수명이 늘어납니다.
 


Turbo TM 1100 - 2200 A
Turbo TM 1100 - 2200 A
펌핑속도

N2 at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz 60 Hz
펌핑속도
기술 데이터 Turbo TM 1100 A Turbo TM 1600 A Turbo TM 2200 A
질소(N2) 펌프 용량 l/s 1080 1600 2200
권장 fore pump 크기 m³/h >36 >40 >60
최대 진공도 hPa (mbar) < 1·10-10* < 5·10-8* < 1·10-8*
냉각수 소비량 l/h >200 >200 >200
최대 foreline 진공도 (N2) hPa (mbar) <1 <1 <0.5
필수 주위 온도 °C 5 - 35 5 - 40 5 - 35
소음레벨 (ISO 2151) dB(A) <45 <45 <60
최대 가동 전력 W 400 400 515
냉각수 압력 bar 3 - 5 3 - 5 3 - 5
냉각수 온도 °C 10 - 20 10 - 35 10 - 30
중량 (모터 제외) kg 32 37 54
치수 (H x Ø) mm 264 x 385 335 x 335 367 x 335
펌프 연결 플랜지 흡입구/배기구 DN 40 KF / DN 200 ISO-F DN 40 KF / DN 250 ISO-F DN 40 KF / DN 250 ISO-F
* 권장 fore pump 사용 시

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Turbo TM 1100 - 2200 A

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