중진공 및 고진공 응용 분야를 위한 누설 방지 성능에 최적화
신뢰성
견고한 로브 디자인, 견고한 구조, 다양한 사용 조건에서 신뢰할 수 있음, 누설 방지, 가스 차단막 연결
고성능
우수한 체적 효율성, 높은 최대 진공도, 최대 10배까지 진공 시스템 성능 향상, 통합형 바이패스 밸브, 반도체 공정 등 중진공 및 고진공용으로 특화되어 설계
유연성
시스템 내의 모든 위치에 직결식으로 장착 가능, 모든 보조 펌프 유형의 성능 향상, 수직 또는 수평 배출 기능
기술 사양
시장 & 어플리케이션
식품 가공
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동결 건조
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진공 냉각
금속 공정
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코팅
태양열 발전 산업용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
디자인 옵션
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ATEX - 폭발 위험 구역 용도.