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COBRA DS 0700–2000 G

건식 스크류 진공 펌프

까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프

고성능

고급 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 통합 진공 부스터, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 매우 적합

효율성

낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식, 높은 수소 처리량

컴팩트

어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터, 컴팩트한 베이스 프레임에 결합된 보조 펌프 및 진공 부스터

기술 사양

시장 & 어플리케이션

바이오가스 처리용
  • 업그레이드 - 압력 순환 흡착
평면 패널 디스플레이 생산용
  • 플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
  • 로드 록 챔버
  • 유기 발광 다이오드(OLED)
  • 물리적 증착(PVD)
리튬 이온 배터리 생산용
  • 탈기
반도체 제조
  • Medium
  • Harsh
  • Light
태양열 발전 산업용
  • 플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)