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COBRA BA 0100 C

COBRA BA 0100 C 는 태양광 전지, 평판 스크린 및 반도체 생산에 필요한 로드락 챔버와 제반 공정에 적합한 검증된 건식 스크류 진공 펌프입니다. 이 진공 펌프는 고효율 공기 냉각 방식과 동급 최고의 펌프 속도를 가지고 있어서, 고속 및 신뢰성이 요구되는 모든 진공 장비에 이상적 입니다, COBRA BA 진공 펌프는 oil-free 비 접촉 방식으로 particle 배출이 용이합니다.

COBRA BA 0100 C 는 고효율 모터와 대기모드가 장착돼있어 에너지 절감이 뛰어납니다.

COBRA BA 0100 C 펌프는 초소형으로 설계되어, 매우 작은 공간 및 에너지를 사용하여 최소한의 비용으로 운영할 수 있습니다.

응용분야

  • High-density plasma CVD (HDP CVD) (고밀도 플라즈마 화학 증착공정)
  • Rapid thermal processing (RTP) (급속 열처리 공정)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD) (부기압 화학 증착공정)
  • Metal-organic CVD (MOCVD) (유기 금속 화학 증착 공정)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD) (플라즈마 화학 증착공정)
  • Low-pressure CVD (LPCVD) (저압 화학 증착 공정)
  • Atomic layer deposition (ALD) (원자층 증착 공정)
  • Load-lock applications (로드락 응용 분야)

COBRA – 까다로운 공정에 적합한 차세대 건식 진공 펌프

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기술사양
COBRA BA 0100 C 는 1단의 2축형 스크류 진공 펌프입니다. 서로 반대 방향으로 회전하는 2개의 스크류 로터로 작동합니다. 흡입된 가스는 스크류 사이로 유입되어서 압축, 이동 과정을 거쳐서 배출 됩니다. 압축 공정 동안 두 개의 스크류 회전체는 서로 접촉하지 않으며, 실린더와도 접촉하지 않습니다. 따라서, 압축 챔버 내부에는 어떠한 윤활유도 필요치 않습니다. 발전된 최신 스크류 설계로 Flying Bearing 을 채택하여 에너지 소모와 가스 압축열을 크게 줄였습니다. COBRA BA 0100 C 는 효과적인 공기 냉각 방식을 표준으로 채택하였습니다.

 


COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
펌핑속도

펌핑 속도 (공기, 20 °C). 공차: ± 10% 50Hz 60Hz

50 Hz 60 Hz
펌핑속도
기술 데이터 COBRA BA 0100 C
펌프 용량 m³/h 50 Hz 85
최대 진공도 hPa (mbar) 0.01
모터 정격 전력 kW 50 Hz 1.5
최대 진공도에서 전력 소비량 kW 50 Hz 1.1
모터 정격 회전속도 min-1 50 Hz 3000
소음레벨 (ISO 2151) dB(A) 58
질소 소비량 l / min 50 Hz 0-50
중량 (모터 제외) kg 120
치수 (L x W x H) mm 634 x 304 x 338
Gas inlet / outlet DN 50 KF / DN 40 KF

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COBRA BA 0100 C

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