배기

금형 배기, 열처리 등 다양한 배기 공정에서의 진공 사용에 대해 알아보겠습니다.

진공을 이용한 배기

배기 분야에서 진공은 어디에 사용될까요?
밀폐 용기에서 공기나 가스를 배출 시키는 용기 배기는 진공 기술이 가장 널리 사용되는 분야 중 하나로, 에플리케이션이 매우 다양합니다.

배기와 관련된 대부분의 산업 분야에서 배기란, 일반적으로 가스로 채워진 물리적 공간을 비우는 것을 의미합니다. 배기 챔버는 여러 분야에서 사용되며, 주변 공기 또는 산소가 지장을 주는 제조 또는 테스트 공정에 필요합니다.

저 진공이 사용되는 중앙집중식 청소장치나 클린룸부터 고진공이 필요한 반도체 생산의 실리콘 웨이퍼 코팅에 이르기까지 분야별로 다양한 진공도가 사용됩니다.

배기 공정에 가장 적합한 Busch 진공 솔루션은 무엇일까요?
용기 배기는 광범위한 분야에 밀접하게 관련되어 있으며, 사용되는 진공펌프의 범위 또한 다양합니다. 진공 펌프를 선택할 때 고려해야 할 주요 사항은 배기량과 도달 진공도입니다. 거의 모든 Busch 진공펌프는 이러한 요구 사항을 충족합니다.

R 5 유 회전식 베인 진공 펌프는 각종 배기 공정에 두루 사용되며, 펌프의 안정성 및 견고함이 탁월합니다. 특히 Mink 클로 진공 펌프는 비 접촉식 오일 프리로 작동하여 유지 보수가 매우 간편합니다. 이러한 에너지 절약형 진공 펌프는 저진공을 사용하는 배기 공정에 사용됩니다.

COBRA 스크류 진공펌프는 부식성 또는 폭발성 가스 배기와 관련된 분야에 적합합니다. COBRA 진공펌프의 건식 스크류 기술로 고도의 진공을 달성합니다.


높은 진공을 사용하는 배기 공정에서는 R 5 또는 COBRA 진공펌프와 Puma 또는 Panda 모델의 루츠 부스터 진공펌프를 결합한 진공 시스템을 추천합니다. 용량이 작을 경우에는 Zebra 2단 유 회전식 베인 진공펌프를 권장합니다. 고진공을 사용하는 배기 공정에 적합한 다른 펌프로는 터보 분자 펌프인 Turbo 또는 디퓨전 진공펌프인 Rangu가 있습니다.

일반적인 배기 응용 분야의 예:

  • 진공 포장 – 포장 챔버 배기 ("진공을 이용한 포장" 참조)
  • 진공 용기 시스템 – 용기 내부의 진공도를 영구적으로 유지
  • 열처리 – 진공로 배기
  • 표면 코팅 – 코팅 챔버 배기
  • 금형 배기 – 주조공정에서 품질 최적화
  • 우주 환경 시뮬레이션 – 우주 시뮬레이션 챔버 배기
  • 트랜스퍼 챔버 – 웨이퍼 생산에 사용
  • 프로세스 챔버 – 반도체 생산에 주로 사용
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