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ターボ分子ポンプ

 

技術仕様

ターボ分子ポンプシリーズは、タービンブレードの原理で動作します。高速回転するローターブレードは、気体分子に推進力を与え、初動のランダム運動から 制御された流れへとポンプ本体内で変化させます。吸気ポートから取り込まれた気体分子 は、ターボ分子ポンプの排気プロセスにより、ポンプ内を通過し排気ポートへと移送されます。 気体分子内でこの推進力を生み出すためには、 ローターブレードの先端の動きが高速である必要があります。

Turbo

ターボ分子ポンプ

技術仕様

ターボ分子ポンプシリーズは、タービンブレードの原理で動作します。高速回転するローターブレードは、気体分子に推進力を与え、初動のランダム運動から 制御された流れへとポンプ本体内で変化させます。吸気ポートから取り込まれた気体分子 は、ターボ分子ポンプの排気プロセスにより、ポンプ内を通過し排気ポートへと移送されます。 気体分子内でこの推進力を生み出すためには、 ローターブレードの先端の動きが高速である必要があります。

のローターはコンパクト設計で、クラス最高レベルの性能と排気能力を持ち、設置面積は小さく抑えらています。 また当ポンプに備わる分子ドラッグ技術(Macro Torr)にて、フォアラインを高圧縮することが可能で、システム効率が向上することから、従来より小さなバックポンプで対応することが可能となります。 ターボ分子ポンプ シリーズでは、永
久潤滑処理を施したセラミックボールベアリングが使用されており、平均故障間隔(MTTF)は、200,000稼働時間を
大きく上回っています。
 

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+81 (0)463 50 4020 連絡先
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