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スクロール真空ポンプ

技術仕様

スクロール真空ポンプは、固定および旋回スクロールによって構成されています。 旋回スクロールは、固定ス
クロール内で動きます。 これによりスクロールの外周部からガスを吸引し、スクロール間で圧縮し、スクロールの中心に向かってガスを搬送します。

  Fossa

スクロール式真空ポンプ

動作原理

スクロール真空ポンプは、固定お
よび旋回スクロールによって構成され
ています。 旋回スクロールは、固定ス
クロール内で動きます。 これによりス
クロールの外周部からガスを吸引し、
スクロール間で圧縮し、スクロールの
中心に向かってガスを搬送します。

 この動作原理には潤滑オイルが一切
不要なため、完全なドライ圧縮となり
ます。 また、ベアリングが圧縮チャン
バーから分離されているため、ポンプ
で圧縮されたガスがベアリングのグリ
ースによって汚染されることがなく、ク
リーンな状態が保たれます。 さらに、
高気密設計(1x10-6 mbar l/s以下)によ
り、圧縮されたガスの外気による汚染
も回避します。メンテナンスは、スクロ
ール上のチップシールの交換を行う
のみです。 これは特殊ツールを使用せ
ずに、数分で行うことができます。 


 

Fossa


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+81 (0)463 50 4020 連絡先
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