Rangu-DiffusionVacuumPumps.svg
拡散真空ポンプ

技術仕様

拡散ポンプは、中央の多段ジェットに接続されているオイルボイラーで構成されています。 加熱された油が
多段ジェットから超音速で排出され、その噴射流に取り込まれた気体分子は、重いオイル分子の推進力によってポンプ内部を移動します。 この一連の動きで、気体分子は低圧の吸気フランジから、フォアライン真空ポートへと移送され、ここでオイルが凝縮してボイラーに戻り、気体分子はバックポンプに吸引されます。 

Rangu

拡散ポンプ

技術仕様

拡散ポンプは、中央の多段ジェ
ットに接続されているオイルボイラー
で構成されています。 加熱された油が
多段ジェットから超音速で排出され、
その噴射流に取り込まれた気体分子
は、重いオイル分子の推進力によって
ポンプ内部を移動します。 この一連の
動きで、気体分子は低圧の吸気フラン
ジから、フォアライン真空ポートへと
移送され、ここでオイルが凝縮してボ
イラーに戻り、気体分子はバックポン
プに吸引されます。

拡散ポンプ
は革新的な多段噴射式設計により、稼
働が極めて安定しています。 当ポンプ
は特に、チャンバーを真空排気する際
に通常発生する高い背圧と、オイル逆
流のリスクに耐える設計になっていま
す。拡散ポンプは、堅牢で耐用
年数の長いヒーター設計を採用し、変
化に富んだ運転条件においても、安定
した信頼性の高いパフォーマンスを
お約束します。
 

Rangu


製品の詳細
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4020 連絡先
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