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Premium Efficiency

ブッシュのPremium Efficiencyクラスの真空ポンプとシステムソリューションは、優れたエネルギー効率と信頼性を通じた持続可能性を提供します。Premium Efficiencyは、エネルギー消費、効率性、信頼性、サービス、および持続可能性に対する包括的で統合されたアプローチを体現するものです。

プレミアム効率

ブッシュのプレミアム効率

最大限のエネルギー効率を求める現代の需要に応えて、ブッシュは、真空ポンプとシステムソリューションの新たなプレミアム効率クラスを導入しました。ブッシュのプレミアム効率クラスは、最先端の技術と、効率性における新たな基準を打ち立てる動作機能を融合します。

プレミアム効率は、エネルギー消費、効率性、信頼性、サービス、および持続可能性に対する包括的で統合されたアプローチを体現するものです。

プレミアム効率クラスの特徴:

  • 電力消費量を最大で40%削減
  • 統合された技術プラットフォームに基づくクラス最高のエネルギー効率
  • 高い信頼性と整備の削減 - ブッシュのサービスがバックアップ
  • トータルライフサイクルコストの削減
  • エネルギーフットプリントの削減を通じた環境的持続可能性


全体的な効率包括的アプローチ

ブッシュのプレミアム効率クラスの真空ポンプをお選びいただいて得られるものは、クラス最高のエネルギー効率と信頼性だけではありません。さらに、真空シ ステムにおけるブッシュの豊富な経験と、オンサイトおよびオフサイトでの包括的なコンサルティングとサービスを擁するブッシュのサービスをご活用いただけ ます。

 


COBRA BCプレミアム効率シリーズ

半導体業界で選ばれている真空ポンプおよびシステムソリューション、COBRA BCが、プレミアム効率クラスとして初の真空ポンプおよびシステムソリューションとなります。その後、徐々に他の製品シリーズにもプレミアム効率クラスを拡大していきます。

半導体生産に新たなレベルの効率性を提供 - COBRA BCプレミアム効率

  • 半導体加工におけるロードロックチャンバーでの汚染防止に最適
  • 物理蒸着(PVD) - 「スパッタリング」または「スパッタ蒸着」
  • 計測 - 半導体製造プロセスにおける制御と品質保証
  • ライトエッチング(半導体エッチング)

Go Green – Go Busch

さらに情報をご覧になりませんか?
(Busch日本):では下記まで直接お問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4020 連絡先
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  • 13年間のオペレーション - COBRA BCがGlobalFoundries社 Fab 1で節目に到達
    連続運用13年間。これは、50Hzで211億回転以上に相当します。2017年1月半ば、ドイツのある半導体工場においてCOBRA BCドライスクリュー式真空ポンプがこの大きな節目を迎えました。これは堅牢性、信頼性、必要なメンテナンスの少なさといった定評に応える実績です。

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