安全な加熱-湿式によるガス除害
高信頼性
製造プロセスで発生する有害ガスや大気汚染物質を削減または除去するための設計、炎を出さない燃焼が可能な高温ヒーター、CVDプロセス向け設計、粉体や腐食性物質が排ガスに含まれるアプリケーションに最適
最小限のメンテナンス
高いサービス性、サービスルーチンの迅速化
高効率
熱および湿式ガス除害技術の組み合わせ、可燃性および可溶性ガスの処理が可能、低運用コスト、カラータッチスクリーン付PLCで簡単操作
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