定評あるテクノロジー、定評ある設計 -
最良のソリューションを実現

COBRA BC 0600 F

  • 効率性:
    優れたコスト効率、アップタイム、エネルギー効率
  • 整備しやすさ:
    長い整備間隔 
  • 信頼性:
    動作信頼性
  • フレキシブル:
    用途重視
  • 静か:
    騒音値 ≤ 62 dB(A)
     

COBRA BC 0600 Fは、COBRA BCシリ ーズの定評のあるドライスクリュー真 空ポンプです。極めて要件の厳しいソ ーラー、フラットパネルおよび半導体 用途向けに、クラス最高の排気速度を 提供します。

COBRA BCシリーズは、独自のスクリュ ー設計により、紛体および粒子の処理 において高い能力を発揮します。バッ キングポンプとメカニカルブースター をコンパクトなフレームで組み合わせ た、実績のあるデザインです。

COBRAシリーズ真空ポンプは、所有コ ストを低減します。高効率モーターとア イドリングモード機能により、エネルギ ー効率が強化されています。アップタ イムの向上と、設置面積のコンパクト 化による取付け易さからも、コスト抑 制効果がもたらされます。

用途

  • ロードロック(条件付き)
  • 搬送
  • メトロロジー
  • リソグラフィー
  • 物理蒸着(PVD)
  • 急速熱焼鈍(RTA)
  • ストリップ/アッシング
  • 酸化エッチング
  • シリコンエッチング
  • 金属エッチング

COBRA – 軽負荷から高負荷プロ セスまで対応するコンパクトな真空 ポンプの進化形。

COBRA – 軽負荷から高負荷プロ セスまで対応するコンパクトな真空 ポンプの進化形。

お問い合わせ
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4000 連絡先

技術仕様

技術仕様
COBRA BC 0600 Fスクリュー真空ポン プは、逆方向に回転する2本のスクリュ ーローターによって動作します。吸引 したガスをシリンダーとスクリューチ ャンバーとの間で捕捉し、圧縮しなが ら排気口へ送ります。スクリューのメカ ニズムではポンプ内の摺動面積が極 小化されるため、粉体処理および再起 動の能力に優れます。
'
高度なスクリュー設計により、標準的 なスクリュー設計と比べて消費電力が 低くなっています。また、圧縮ガスの熱 負荷も低減されます。BCシリーズのポ ンプは、直接冷却方式を採用している ため、ポンプ本体全体の温度が均一に 保たれ、コールドスポットが無く、熱的 に安定したウォータージャケット構造 を備えます。

独自の「フライングベアリング」スクリ ュー設計により、インレットベアリング の問題を排除し、設置面積を縮小しま した。

COBRA BC 0600 F真空ポンプは、高性 能メカニカルブースターを使用してシ ステムのパフォーマンスを最適化して います。

外形図
排気速度

20 ℃ 空気の場合。誤差: ± 10%

50 Hz 60 Hz
排気速度
テクニカルデータ COBRA BC 0600 F
設計排気速度 520 m³/h
到達真空度 0.003 hPa (mbar)
定格モーター出力 フォアポンプ 1.5 kW
定格モーター出力 メカニカルブースターポンプ 4.0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
到達真空度 2.1 / 1.1 kW
騒音値(ISO 2151) 62 dB(A)
冷却水流量 3.0 l/min
窒素流量 0-50 l/min
質量 315 kg
外形寸法(L x W x H) 933 x 354 x 694 mm
ガスインレット/アウトレット DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

技術仕様

技術仕様
COBRA BC 0600 Fスクリュー真空ポン プは、逆方向に回転する2本のスクリュ ーローターによって動作します。吸引 したガスをシリンダーとスクリューチ ャンバーとの間で捕捉し、圧縮しなが ら排気口へ送ります。スクリューのメカ ニズムではポンプ内の摺動面積が極 小化されるため、粉体処理および再起 動の能力に優れます。
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高度なスクリュー設計により、標準的 なスクリュー設計と比べて消費電力が 低くなっています。また、圧縮ガスの熱 負荷も低減されます。BCシリーズのポ ンプは、直接冷却方式を採用している ため、ポンプ本体全体の温度が均一に 保たれ、コールドスポットが無く、熱的 に安定したウォータージャケット構造 を備えます。

独自の「フライングベアリング」スクリ ュー設計により、インレットベアリング の問題を排除し、設置面積を縮小しま した。

COBRA BC 0600 F真空ポンプは、高性 能メカニカルブースターを使用してシ ステムのパフォーマンスを最適化して います。

外形図
排気速度

20 ℃ 空気の場合。誤差: ± 10%

50 Hz
60 Hz
排気速度
テクニカルデータ COBRA BC 0600 F
設計排気速度 520 m³/h
到達真空度 0.003 hPa (mbar)
定格モーター出力 フォアポンプ 1.5 kW
定格モーター出力 メカニカルブースターポンプ 4.0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
到達真空度 2.1 / 1.1 kW
騒音値(ISO 2151) 62 dB(A)
冷却水流量 3.0 l/min
窒素流量 0-50 l/min
質量 315 kg
外形寸法(L x W x H) 933 x 354 x 694 mm
ガスインレット/アウトレット DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

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