COBRA BC 0101 G
ドライスクリュー真空ポンプ
軽~中負荷の半導体用途向けに理想的なソリューション
高い性能
高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリュー、優れた運転品質、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセスに最適
高効率性
インテリジェントな可変速ドライブ、所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム、直接水冷方式
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、コントロールパネル搭載
技術仕様
マーケット & アプリケーション
バイオガス関連
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改質 - PSA (圧力変動吸着法)
半導体関連
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ライトプロセス