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COBRA BC – 高気密、フライングベアリングシステム、水冷

COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、物理蒸着(PVD)、急速熱アニール(RTA)、シリコンエッチングなどが挙げられます。

最先端のスクリュー真空ポンプ技術と独自開発のスクリュー形状で、効率性の新たな基準を打ち立てました。特許取得済みのセルフバランシングスクリュー設計と、スクリューローターが、優れた動作品質優れたアップタイムを約束します。

不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側にのみ取り付けられています。独自の「フライングベアリング」設計で、インレットベアリングは不要となりました。これにより、クリーンな真空生成が確保され、排気されたガスを完全に回収することができます。

直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。

完全にオープンな通信プロトコル(Modbus TCP-IP)で、アイドルモードや可変速ドライブを含むすべての機能を制御できます。これにより、標準的なインターフェイスコンポーネントを使用して特定のネットワークプロトコルにも簡単に適応することができます。

COBRA BCシリーズ真空ポンプには、「Premium Efficiency」バージョンもございます。このバージョンには、最新のBusch VacBoost技術が採用されており、 従来型の真空生成器と比較した場合、最高で40%の省エネが実現します。

メリット一覧:

  • 高度なスクリュー設計
  • ドライ式および非接触式の動作原理
  • 独自のフライングベアリング設計
  • カンチレバー構造
  • 設置場所に納めやすいコンパクト設計
  • 最小限のメンテナンス
  • 最小限の運用コスト
  • 完全にオープンな通信プロトコル

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下記までお問い合わせください (Busch 日本):
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