13年間のオペレーション - COBRA BCがGlobalFoundries社 Fab 1で節目に到達

連続運用13年間。これは、50Hzで211億回転以上に相当します。2017年1月半ば、ドイツのある半導体工場においてCOBRA BCドライスクリュー式真空ポンプがこの大きな節目を迎えました。これは堅牢性、信頼性、必要なメンテナンスの少なさといった定評に応える実績です。
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このCOBRA BCは、ドイツのドレスデンにあるGlobalFoundries社の製造拠点で2005年から運用されています。これは、Fab 1と呼ばれるこの工場で最も長く稼働しているCOBRA BCです。ドレスデンのFab 1は、世界で初めて銅配線によるマイクロチップの工業量生産を行った工場です。この技術は、現在では世界中の半導体製造の基盤となっています。

半導体業界向けの300 mmウエハーを製造するドレスデンのこの工場には、合計で194台のCOBRA BC 0100ドライスクリュー式真空ポンプが設置されています。このうち47台が10年以上にわたって継続的に稼働しており、22台は運転10万時間(運用年数11年以上)という節目を越えています。

COBRA BC真空ポンプは、主にエピタキシーおよび物理蒸着(PVD)プロセスのロードロック用途に使用されているほか、ウエハー処理やリソグラフィープロセスの品質管理に必要な汚染フリーのプロセスでも使用されています。

COBRA BC 0100 Fは、要求の厳しいソーラー、フラットパネルおよび半導体用途向けの処理機能を追加した、コンパクトな最先端のロードロックソリューションとして定評のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー真空ポンプです。当モデルは独自のスクリューポンプ設計により、優れた粉末処理能力を有しています

COBRA BCシリーズは、最大40%エネルギー消費量を抑えたCOBRA BC Premium Efficiencyクラスでもご用意しております。Premium Efficiencyクラスは、COBRA BCの定評のある技術プラットフォームをベースとしています。


ブッシュ・バキュームポンプ・アンド・システムズは、サービス技術者9名、チームリーダー1名で構成されるサービスチームをドレスデンに常駐し、24時間365日体制で、設置された何百台分ものブッシュ真空ポンプの可用性を確保しています。さらに、このサービスチームは排ガス処理システムの管理も担当しています。

GlobalFoundriesは、世界屈指の半導体企業であり、ドレスデン工場で40 nmから(近い将来には)22 nmのノードを製造しています。ドレスデン工場は、欧州最大のマイクロチップ工場です。 


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