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真空引き

金型の真空引き、熱処理工程、焼き入れなどの真空引きにおいて使用される真空技術をご覧ください。

真空引き

真空引き工程のどこで真空を使用できますか?
真空引き、すなわち閉鎖された容器からのエアまたはガスの強制排気は、真空テクノロジーの幅広い用途のうちの1つです。これらの用途はきわめて多様です。真空引きは一般的にガス(一般的な工業用途では大気)の物理的な空間を空にすることと理解されています。真空引きチャンバーは、外気または酸素の存在により影響される製造工程、またテスト工程で使用されます。

集中真空クリーニングまたはクリーンルーム用の低真空から、半導体製造におけるシリコンウェハーコーティング向けの高真空まで、必要な真空のレベルは用途によって異なります。

真空引き工程に特に適したブッシュの真空ソリューションは?
真空引きにはきわめて多様な用途があり、これらの用途で利用できる真空ポンプも同様にさまざまなものがあります。真空ジェネレーター選択の際に考慮すべき重要な要因は、真空引きする容量と容器内の到達圧力です。ほぼ全てのブッシュの製品ラインアップが、この要件をクリアします。

R5ロータリーベーン真空ポンプは多くの異なる真空引き工程に使用され、卓越した動作信頼性と堅牢性を発揮します。これは、R5真空ポンプが病院における真空システムの設備で好まれるソリューションである理由の1つです。

ミンク(Mink)クロー真空ポンプは、非接触のオイルフリー運転によりほぼメンテナンスフリーです。この真空ジェネレーターはエネルギー効率が高く、低真空領域での真空引き工程で使用されます。


コブラ(COBRA)スクリュー真空ポンプは腐食性、爆発性ガスを扱う用途に特に適しています。コブラ(COBRA)真空ポンプが使用するドライスクリューテクノロジーにより、高いレベルの真空が実現します。

高真空の真空引き工程の場合は、R5またはコブラ(COBRA)真空ポンプにプーマ(Puma)またはパンダ(Panda)シリーズのルーツ(Roots)ブースター真空ポンプを組み合わせた真空システムを推奨します。容積が少ない場合は、ゼブラ(Zebra)ロータリーベーン真空ポンプによる真空引きを推奨します。高真空の真空引き工程に適したポンプの組み合わせとしては他に、ターボ(Turbo)ターボ分子ポンプまたはラング(Rangu)拡散真空ポンプがあります。

一般的な真空引き用途の例:
 

  • 真空包装 - 包装チャンバーの真空引き(「真空による包装」を参照)
  • 船舶真空システム - 真空コンテナ内の真空レベルを恒常的に維持
  • 熱処理 - 真空炉の真空引き
  • 表面コーティング - コーティングチャンバーの真空引き
  • 金型真空引き - 多くの鋳造工程における品質最適化
  • 宇宙空間シミュレーション - 宇宙空間シミュレーションチャンバーの真空引き
  • トランスファーチャンバー - ウェハー製造に使用
  • プロセスチャンバー - おもに半導体製造に使用
製品の詳細
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4020 連絡先
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