プラズマコーティング

粒子混合物のプラズマ状態は、しばしば物質の第4の状態と呼ばれます。通常圧では、分子がイオンと電子に変化するまで気体を加熱した場合にのみプラズマが発生します。しかし、極低圧プラズマは、高温でなくても形成されます。

コーティング技術では、プラズマを利用して活物質の薄い層を堆積させます。たとえば、鏡の作成や、部品への粘度のないコーティングの塗布などに応用されます。

プラスティック、ゴム、天然繊維などの比較的デリケートな素材は、高温処理に適していません。このような素材のコーティングには低圧プラズマが使用されます。この場合の加工温度は40°C~120°Cです。品物を十分に洗浄し、チャンバーに入れてからチャンバーの空気を抜きます。求められる中・高レベルを提供する真空システムには極めて高い信頼性が必要であり、その特長はコーティング加工に適していなければなりません。


その後、チャンバーにアルゴンなどの処理ガスを加えます。高周波数のマイクロ波または電気エネルギーをガスに加えて、プラズマ火炎を起こします。これによってコーティング物質が微小粒子となり、加速されます。その粒子が高エネルギーでチャンバー内の品物と衝突することで、均等な層が形成されます。プラズマの揮発性副産物は、真空ポンプによって除去されます。必要に応じて排気洗浄装置によって中和される場合もあります。


プラズマコーティングに必要な中・高真空レベルを生成するために、ブッシュの各種製品をご利用いただけます。COBRAスクリュー式真空ポンプシリーズのいくつかの製品が特にこの用途に適していると評価されています。これらは、Pandaルーツ真空ポンプと併用することもできます。ロードロックシステムのある小型のプラズマコーティングプラントでは、処理チャンバーでFossaスクロール真空ポンプを、Zebraロータリーベーン真空ポンプやターボ分子真空ポンプと併用することもできます。

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