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コーティング

物理蒸着(PVD)/化学蒸着(CVD)などのコーティングにおいて使用される真空技術をご覧ください。

真空によるコーティング

コーティング工程のどこで真空を使用できますか?
金属、樹脂、ガラスが気化物質の形で蒸着するコーティング工程で決定的な役割を果たします。多くの場合、これらの工程は真空を使用しなければ不可能です。まず最初に、チャンバーを高真空に排気し、その後、反応ガスを導入し、また、固体原材料を気化させます。


これらの工程には共通の必要な要素があります。それはチャンバー内をコーティング工程に適した、高品質な真空を作り出すことです。このようなコーティング作業は、硬度や耐腐食性など素材の表面処理を目的に実施します。真空コーティングは、材料の付着性または耐水性を改善するため、または表面に恒久的な疎水性または親水性を持たせるために行うこともあります。

ブッシュの真空システムには、すべてのタイプの真空ベースコーティング工程に必要とされるコンポーネンツが付属しています。


コーティング工程に特に適したブッシュの真空ソリューションは?
ブッシュの製品ラインアップでは、コーティング工程用のさまざまな真空ソリューションをご用意しており、ポンプ単体または真空システム全体をご提供します。コブラ(COBRA)スクリュー真空ポンプはこれらの用途に最適で、ルーツ(Roots)真空ポンプとの組み合わせで中真空用途のソリューションとして豊富な実績があります。コブラ(COBRA)/ルーツ(Roots)真空ポンプはいずれもバリエーションが豊富で、工程に合わせて設計することが可能です。高真空用途の場合、ターボ(Turbo)ターボ分子真空ポンプとラング(Rangu)拡散真空ポンプシリーズが適し、フォアポンプとの組み合わせで、コーティング工程に合わせた構成で提供することが可能です。

コーティング工程におけるブッシュ真空テクノロジーの例:

製品の詳細
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4020 連絡先
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