A diffúziós vákuumszivattyúk szinte bármely gáz vagy gőz továbbítására felhasználhatók, még akkor is, ha azok reaktívak.
Nincsenek bennük mozgó alkatrészek, ezért gyakorlatilag semmiféle karbantartást nem igényelnek. Más, magas vákuumot előállító vákuumszivattyúkkal összehasonlítva ezek biztosítják a legmagasabb fokú hatékonyságot.
Csendesen és rezgés nélkül működnek. A fúvókarendszer kiemelkedő konstrukciója gyakorlatilag teljesen kiküszöböli a szivattyúfolyadék visszaáramlását. A Rangu diffúziós vákuumszivattyúk már 10-3 hPa (mbar) elővákuumtól működtethetők.
Dry Vacuum Technology for Chemical and Pharmaceutical Processes