Premium Efficiency a Busch-tól
A manapság maximális energiahatékonysággal szemben támasztott elvárásoknak megfelelően a Busch bemutatta a vákuumszivattyúk és rendszerek új, Premium Efficiency osztályát. A Busch Premium Efficiency osztálya egyesíti a vezető technológiákat azokkal a működési jellemzőkkel, amelyek a hatékonyság új normáit állítják fel.
A Premium Efficiency az energiafogyasztás, a hatékonyság, a megbízhatóság, a szerviz és a fenntarthatóság átfogó és integrált megközelítési módját testesíti meg.
A Premium Efficiency osztály tulajdonságai többek között:
- Akár 40%-os energiamegtakarítás
- Integrált technológiai platformokra épülő, osztályelső energiahatékonyság
- Nagyfokú megbízhatóság és csökkentett karbantartás – a Busch szerviz által támogatva
- Csökkentett teljes életciklusra vetített költségek
- Környezetvédelem a csökkentett energiaterhelésnek köszönhetően
Teljes hatékonyság – Sokéves tapasztalatunk eredménye
Amikor ügyfelünk Premium Efficiency osztályú vákuumszivattyúink egyikét választja, nem csupán osztályelső energiahatékonyságot és megbízhatóságot kap. Az ügyfél ugyancsak részesül a vákuumrendszerekkel kapcsolatos számottevő tapasztalatunkban, és a Busch szolgáltatásaiban – átfogó helyszíni és telephelyen kívüli tanácsadásban és szervizben.
COBRA BC Premium Efficiency sorozat
A COBRA BC – a félvezetőipar választott vákuumszivattyúja és rendszere – a Premium Efficiency osztály első vákuumszivattyúja és rendszere. A Premium Efficiency osztályt fokozatosan kiterjesztjük a többi termékcsaládra is.
A hatékonyság új szintjei a félvezetőgyártás számára – COBRA BC Premium Efficiency
- Ideális a félvezetőgyártás során terheléstartó kamrákhoz a szennyeződés megelőzése érdekében
- Fizikai gőzfázisú bevonatolás (PVD) – katódporlasztás
- Metrológia – vezérlés és minőségellenőrzés a félvezetőgyártás során
- Fotolitográfia (félvezető felületkezelés)
Go Green – Go Busch