Bizonyított technológia, bizonyított tervezés –
válassza a legjobb megoldást

COBRA BC 1000 / 2000 F

A COBRA BC 1000 F és BC 2000 F a COBRA BC sorozat két bevált száraz csavar vákuumszivattyúja. Magas szállítási kapacitássuk - akár hidrogén esetében is - miatt ideálisak a napelem-, a síkképernyő- és a félvezetőgyártás más, nagy igénybevételt támasztó összes eljárásához. A COBRA vákuumszivattyú-technológiája olaj- és érintkezésmentes, ami lehetővé teszi por és szemcsés közegek elszívását.

A COBRA BC 1000 F és BC 2000 F az alapfelszereltség részeként beépített buster szivattyúval van ellátva, ami magasabb szállítási kapacitást és maximális nyomásról biztosít. Az előszivattyú és a
buster szivattyú egyetlen kompakt alapkeretre van felszerelve.

A COBRA BC 1000 F és BC 2000 F rendkívül hatékony motorral 
van felszerelve, amely készenléti üzemmóddal is rendelkezik, és
ilyen módon optimális energiamegtakarítási lehetőségeket kínál. 

Kompakt kivitelük miatt kis helyigényű, és rendkívül alacsony energiaigényük minimális szinten tartja az üzemeltetési költségeket. 
A COBRA BC vákuumszivattyúk hosszú élettartama tovább csökkenti
az összköltségeket. Ezek a csavar vákuumszivattyúk egyszerűen
és gyorsan beépíthetők a már meglévő rendszerekbe.

Alkalmazások

  • Nagy sűrűségű plazma CVD (HDP CVD)
  • Gyors termális folyamatok (RTP)
  • Légkörinél alacsonyabb nyomású CVD (SACVD)
  • Szerves fémgőz CVD (MOCVD)
  • Plazmadúsításos CVD (PECVD)
  • Alacsony nyomású CVD (LPCVD)
  • Atomi rétegleválasztás (ALD)
  • Terheléstartó alkalmazások

COBRA – a száraz vákuumszivattyúk új generációja nagy igénybevételt támasztó alkalmazásokhoz.

COBRA – a száraz vákuumszivattyúk új generációja nagy igénybevételt támasztó alkalmazásokhoz.

Szeretne többet megtudni?
Vegye fel velünk közvetlenül a kapcsolatot (Busch Magyarország):
+36 24 887 308 Vegye fel a kapcsolatot

Műszaki leírás

Műszaki leírás
A COBRA BC 1000 F és BC 2000 F egyfokozatú, ikertengelyes 
csavar vákuumszivattyúk. Két csavar rotor forog a hengerben,
amelyek beszívják, majd összesűrítik a szivattyúzott közeget,
amelyet a szivattyú a gázkimenethez továbbít. A kompressziós
folyamat során a csavar rotorok nem érintkeznek sem egymással,
sem pedig a hengerrel, ezért nincs szükség kenőanyagokra vagy munkafolyadékokra sem a kompressziós kamrában.

A csavar kivitel legújabb fejlesztései drasztikus mértékben lecsökkentik az energiafogyasztást és megelőzik a gázoknak a kompresszió során történő erős felmelegedését. Ezenkívül a modern csavar technológia rendkívül magas szállítási kapacitást biztosít a hidrogén evakuálásához. Roots-vákuumszivattyút használnak nyomásfokozóként a csavar vákuumszivattyúval kombinálva, amelyek kompakt egységet alkotnak.

A hatékony, közvetett vízhűtés gondoskodik a hőmérséklet egyenletes eloszlásáról a vákuumszivattyúban, és garantálja
a COBRA BC termális stabilitását a folyamat során.

Rajz COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Szállítási kapacitás

Levegő 20 °C hőmérsékleten. Tűréshatár: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Szállítási kapacitás
Műszaki adatok COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nominal pumping speed 930 m³/h 1580 m³/h
Névleges motorteljesítmény tartalékszivattyú 1,5 kW 2,9 kW
Névleges motorteljesítmény vákuum erősítő 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Ultimate pressure 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Noise level (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Vízfogyasztás 3,0 l/min 3,0 l/min
Nitrogénfogyasztás 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Súly kb. 310 kg 360 kg
Méretek (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Gas inlet / outlet DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
A tejlesítményadatok a következő környezeti feltételek alapján, ± 10% eltérési toleranciával kerültek megállapításra: 14.7 PSIA (101.35 kPa) nyomás, 70°F (21 °C) hőmérséklet.    

Műszaki leírás

Műszaki leírás
A COBRA BC 1000 F és BC 2000 F egyfokozatú, ikertengelyes 
csavar vákuumszivattyúk. Két csavar rotor forog a hengerben,
amelyek beszívják, majd összesűrítik a szivattyúzott közeget,
amelyet a szivattyú a gázkimenethez továbbít. A kompressziós
folyamat során a csavar rotorok nem érintkeznek sem egymással,
sem pedig a hengerrel, ezért nincs szükség kenőanyagokra vagy munkafolyadékokra sem a kompressziós kamrában.

A csavar kivitel legújabb fejlesztései drasztikus mértékben lecsökkentik az energiafogyasztást és megelőzik a gázoknak a kompresszió során történő erős felmelegedését. Ezenkívül a modern csavar technológia rendkívül magas szállítási kapacitást biztosít a hidrogén evakuálásához. Roots-vákuumszivattyút használnak nyomásfokozóként a csavar vákuumszivattyúval kombinálva, amelyek kompakt egységet alkotnak.

A hatékony, közvetett vízhűtés gondoskodik a hőmérséklet egyenletes eloszlásáról a vákuumszivattyúban, és garantálja
a COBRA BC termális stabilitását a folyamat során.

Rajz
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Szállítási kapacitás

Levegő 20 °C hőmérsékleten. Tűréshatár: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Szállítási kapacitás
Műszaki adatok COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nominal pumping speed 930 m³/h 1580 m³/h
Névleges motorteljesítmény tartalékszivattyú 1,5 kW 2,9 kW
Névleges motorteljesítmény vákuum erősítő 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Ultimate pressure 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Noise level (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Vízfogyasztás 3,0 l/min 3,0 l/min
Nitrogénfogyasztás 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Súly kb. 310 kg 360 kg
Méretek (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Gas inlet / outlet DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
A tejlesítményadatok a következő környezeti feltételek alapján, ± 10% eltérési toleranciával kerültek megállapításra: 14.7 PSIA (101.35 kPa) nyomás, 70°F (21 °C) hőmérséklet.    

Letöltések

COBRA BC 1000 / 2000 F

You did not find a suitable product?

Standard News

Legfrissebb hírek