Bizonyított technológia, bizonyított tervezés –
válassza a legjobb megoldást

COBRA BC 0100 / 0200 F

A COBRA BC 0100 F az új száraz csavar vákuumszivattyú a terheléstartó kamrák evakuálására és a napelem-, a síkképernyő- és a félvezetőgyártás más, nagy igénybevételt támasztó eljárásaihoz. Ez a hatékony vízhűtéssel és a saját teljesítményi osztályában a legmagasabb szállítási kapacitással rendelkező vákuumszivattyú ideális minden olyan alkalmazáshoz, ahol hatékony, gyors és megbízható vákuum-előállításra van szükség. A COBRA vákuumszivattyú-technológiája olaj- és érintkezésmentes, ami lehetővé teszi szemcsés közeg elszívását.

A COBRA BC 0100 F rendkívül hatékony motorral van ellátva, amely készenléti üzemmóddal is rendelkezik, és ilyen módon optimális energiamegtakarítási lehetőségeket kínál.

A COBRA BC 0100 F kompakt kivitele miatt kis helyigényű, és rendkívül alacsony energiaigénye minimális szinten tartja az üzemeltetési költségeket.

Alkalmazások

  • Nagy sűrűségű plazma CVD (HDP CVD)
  • Gyors termális folyamatok (RTP)
  • Légkörinél alacsonyabb nyomású CVD (SACVD)
  • Szerves fémgőz CVD (MOCVD)
  • Plazmadúsításos CVD (PECVD)
  • Alacsony nyomású CVD (LPCVD)
  • Atomi rétegleválasztás (ALD)
  • Terheléstartó alkalmazások

COBRA – a száraz vákuumszivattyúk új generációja nagy igénybevételt támasztó alkalmazásokhoz.

COBRA – a száraz vákuumszivattyúk új generációja nagy igénybevételt támasztó alkalmazásokhoz.

Szeretne többet megtudni?
Vegye fel velünk közvetlenül a kapcsolatot (Busch Magyarország):
+36 24 887 308 Vegye fel a kapcsolatot

Műszaki leírás

Műszaki leírás
A COBRA BC 0100 F egyfokozatú, ikertengelyes csavar vákuumszivattyú. Két csavar rotor forog a hengerben, amelyek beszívják, majd összesűrítik a szivattyúzott közeget, amelyet a szivattyú a gázkimenethez továbbít. A kompressziós folyamat során a csavar rotorok nem érintkeznek sem egymással, sem pedig a hengerrel, ezért nincs szükség kenőanyagokra vagy munkafolyadékokra sem a kompressziós kamrában. A csavar kivitel legújabb fejlesztései közé tartozik az egyoldali csapágyazás, amely drasztikus mértékben lecsökkenti az energiafogyasztást és megelőzi a gázoknak a kompresszió során történő erős felmelegedését.

A COBRA BC 0100 F az alapfelszereltség részeként hatékony vízhűtéssel van ellátva, amely gondoskodik a hőmérséklet egyenletes eloszlásáról a vákuumszivattyúban.

Rajz COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Szállítási kapacitás

Levegő 20 °C hőmérsékleten. Tűréshatár: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Szállítási kapacitás
Műszaki adatok COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Nominal pumping speed 100 m³/h 165 m³/h
Ultimate pressure 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Névleges motorteljesítmény 1,5 kW 2,9 kW
Nominal motor speed 3600 min-1 4570 min-1
Energiafelhasználás végvákuumnál 1,3 kW 1,6 kW
Noise level (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Vízfogyasztás 1,0 l/min 2,0 l/min
Nitrogénfogyasztás 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Súly kb. 120 kg 130 kg
Méretek (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Gas inlet / outlet DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Műszaki leírás

Műszaki leírás
A COBRA BC 0100 F egyfokozatú, ikertengelyes csavar vákuumszivattyú. Két csavar rotor forog a hengerben, amelyek beszívják, majd összesűrítik a szivattyúzott közeget, amelyet a szivattyú a gázkimenethez továbbít. A kompressziós folyamat során a csavar rotorok nem érintkeznek sem egymással, sem pedig a hengerrel, ezért nincs szükség kenőanyagokra vagy munkafolyadékokra sem a kompressziós kamrában. A csavar kivitel legújabb fejlesztései közé tartozik az egyoldali csapágyazás, amely drasztikus mértékben lecsökkenti az energiafogyasztást és megelőzi a gázoknak a kompresszió során történő erős felmelegedését.

A COBRA BC 0100 F az alapfelszereltség részeként hatékony vízhűtéssel van ellátva, amely gondoskodik a hőmérséklet egyenletes eloszlásáról a vákuumszivattyúban.

Rajz
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Szállítási kapacitás

Levegő 20 °C hőmérsékleten. Tűréshatár: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Szállítási kapacitás
Műszaki adatok COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Nominal pumping speed 100 m³/h 165 m³/h
Ultimate pressure 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Névleges motorteljesítmény 1,5 kW 2,9 kW
Nominal motor speed 3600 min-1 4570 min-1
Energiafelhasználás végvákuumnál 1,3 kW 1,6 kW
Noise level (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Vízfogyasztás 1,0 l/min 2,0 l/min
Nitrogénfogyasztás 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Súly kb. 120 kg 130 kg
Méretek (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Gas inlet / outlet DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Letöltések

COBRA BC 0100 / 0200 F

You did not find a suitable product?

Standard News

Legfrissebb hírek