Bizonyított technológia, bizonyított tervezés –
válassza a legjobb megoldást

COBRA BA 0100 C

A COBRA BA 0100 C a bevált száraz csavar vákuumszivattyú a terheléstartó kamrák evakuálására és a napelem-, a síkképernyő- és a félvezetőgyártás más, nagy igénybevételt támasztó eljárásaihoz. Ez a hatékony léghűtéssel és a saját teljesítményi osztályában a legmagasabb szállítási kapacitással rendelkező vákuumszivattyú ideális minden olyan alkalmazáshoz, ahol hatékony, gyors és megbízható vákuum-előállításra van szükség. A COBRA vákuumszivattyú-technológiája olaj- és érintkezésmentes, ami lehetővé teszi szemcsés közeg elszívását.

A COBRA BA 0100 C rendkívül hatékony motorral van ellátva, amely készenléti üzemmóddal is rendelkezik, és ilyen módon optimális energiamegtakarítási lehetőségeket kínál.

A COBRA BA 0100 C kompakt kivitele miatt kis helyigényű, és rendkívül alacsony energiaigénye minimális szinten tartja az üzemeltetési költségeket.

Alkalmazások

  • Nagy sűrűségű plazma CVD (HDP CVD)
  • Gyors termális folyamatok (RTP)
  • Légkörinél alacsonyabb nyomású CVD (SACVD)
  • Szerves fémgőz CVD (MOCVD)
  • Plazmadúsításos CVD (PECVD)
  • Alacsony nyomású CVD (LPCVD)
  • Atomi rétegleválasztás (ALD)
  • Terheléstartó alkalmazások

COBRA – a száraz vákuumszivattyúk új generációja nagy igénybevételt támasztó alkalmazásokhoz.

COBRA – a száraz vákuumszivattyúk új generációja nagy igénybevételt támasztó alkalmazásokhoz.

Szeretne többet megtudni?
Vegye fel velünk közvetlenül a kapcsolatot (Busch Magyarország):
+36 24 887 308 Vegye fel a kapcsolatot

Műszaki leírás

A COBRA BA 0100 B egyfokozatú, ikertengelyes csavar vákuumszivattyú. Két csavar rotor  forog a hengerben, amelyek beszívják, majd összesűrítik a szállítandó közeget, amelyet a szivattyú a gázkimenethez továbbít. A kompressziós folyamat során a csavar rotorok nem érintkeznek sem egymással, sem pedig a hengerrel,
ezért nincs szükség kenőanyagokra vagy munkafolyadékokra sem a kompressziós kamrában. A csavar kivitel legújabb fejlesztései közé tartozik a konzolos rotor-elrendezés, amely drasztikus mértékben lecsökkenti az energiafogyasztást és megelőzi a gázoknak a kompresszió során történő erős felmelegedését.

A COBRA BA 0100 B az alapfelszereltség részeként hatékony léghűtéssel van ellátva.

Rajz COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Szállítási kapacitás

Levegő 20 °C hőmérsékleten. Tűréshatár: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Szállítási kapacitás
Műszaki adatok BA 0100 C
Nominal pumping speed 85 m³/h
Ultimate pressure 0,01 hPa (mbar)
Névleges motorteljesítmény 1,5 kW
Nominal motor speed 3000 min-1
Energiafelhasználás végvákuumnál 1,1 kW
Noise level (ISO 2151) 58 dB(A)
Nitrogénfogyasztás 0–50 l/min
Súly kb. 120 kg
Méretek (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Gas inlet / outlet DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Műszaki leírás

A COBRA BA 0100 B egyfokozatú, ikertengelyes csavar vákuumszivattyú. Két csavar rotor  forog a hengerben, amelyek beszívják, majd összesűrítik a szállítandó közeget, amelyet a szivattyú a gázkimenethez továbbít. A kompressziós folyamat során a csavar rotorok nem érintkeznek sem egymással, sem pedig a hengerrel,
ezért nincs szükség kenőanyagokra vagy munkafolyadékokra sem a kompressziós kamrában. A csavar kivitel legújabb fejlesztései közé tartozik a konzolos rotor-elrendezés, amely drasztikus mértékben lecsökkenti az energiafogyasztást és megelőzi a gázoknak a kompresszió során történő erős felmelegedését.

A COBRA BA 0100 B az alapfelszereltség részeként hatékony léghűtéssel van ellátva.

Rajz
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Szállítási kapacitás

Levegő 20 °C hőmérsékleten. Tűréshatár: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Szállítási kapacitás
Műszaki adatok BA 0100 C
Nominal pumping speed 85 m³/h
Ultimate pressure 0,01 hPa (mbar)
Névleges motorteljesítmény 1,5 kW
Nominal motor speed 3000 min-1
Energiafelhasználás végvákuumnál 1,1 kW
Noise level (ISO 2151) 58 dB(A)
Nitrogénfogyasztás 0–50 l/min
Súly kb. 120 kg
Méretek (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Gas inlet / outlet DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Letöltések

COBRA BA 0100 C

You did not find a suitable product?

Standard News

Legfrissebb hírek