Hol használatos vákuum az evakuálási folyamatok során?
A vákuumtechnológia egyik legelterjedtebb alkalmazása a különféle tartályok evakuálása, azaz a levegő vagy gáz eltávolítása zárt tartályokból. Következésképpen ezek az alkalmazások rendkívül széleskörűek.
Általános értelemben az evakuálás valamilyen gáz (a legtöbb ipari alkalmazás esetében a környezeti levegő) által elfoglalt terület kiürítése. Az evakuációs kamrákat számos alkalmazás esetében olyan gyártási vagy vizsgálati folyamatokhoz használják, ahol a környezeti levegő (vagy bizonyos esetekben az oxigén jelenléte) hátráltatná azokat.
A vákuum szükséges szintje alkalmazásonként eltér, a központi vákuum tisztításhoz vagy tisztaterekhez használt durva vákuumtól kezdve a mély vákuum alkalmazásokig, aminek egy példája a szilícium lapkák bevonása a félvezetők gyártása során.
Mely Busch vákuumtechnológiai megoldások alkalmasak különösen az evakuálási folyamatokhoz?
Számos alkalmazásnak része tartályok kiürítése, ennek megfelelően az erre szolgáló vákuumszivattyúk skálája is rendkívül széles. A vákuumgenerátor kiválasztásakor a legfontosabb szempontok között van az evakuálni kívánt térfogat és a tartályban elérni kívánt végvákuum. Ezeknek a követelményeknek termékskálánk szinte valamennyi vákuumszivattyúja megfelel.
Az R 5 forgólapátos szivattyúk több különféle evakuálási folyamathoz használhatók, amelyekben működési megbízhatóságuk és robosztus felépítésük miatt kiemelkedő teljesítményt nyújtanak.
A Mink forgóelemes vákuumszivattyúk az érintkezés- és olajmentes működésnek köszönhetően gyakorlatilag gondozásmentesek. Ezeket az energiatakarékos vákuumgenerátorokat ezért elővákuumot alkalmazó evakuálási folyamatokban használják.
A COBRA csavar szivattyúk különösen alkalmasak a maró vagy robbanásveszélyes gázok extrakciójával járó alkalmazásokra. A COBRA által alkalmazott száraz csavarorsós technológia segítségével jó minőségű vákuum képezhető.
Mély vákuumtartományban végzett evakuálási folyamatokhoz az R 5 vagy a COBRA vákuumszivattyúkat és a Puma vagy Panda sorozat nyomásfokozó Root-fúvóit kombináló vákuumrendszereket ajánljuk. Kisebb mennyiségek evakuálásához a Zebra forgólapátos szivattyúkat javasoljuk. A mély vákuumszintű evakuálási folyamatokhoz alkalmas szivattyúkombinációk között találhatók még a Turbo turbomolekuláris vagy a Rangu diffúziós vákuumszivattyúk is.
Evakuálási alkalmazások jellemző példái:
- Vákuumcsomagolás – csomagolókamrák evakuálása (lásd „Csomagolás vákuum alkalmazásával")
- Nyomástartó rendszerek – állandó szinten tartott vákuum vákuumtartályban
- Hőkezelés – vákuumkazánok evakuálása
- Felületbevonás – bevonó kamrák evakuálása
- Öntőformák evakuálása – minőségoptimalizálás számos öntési eljárás során
- Űrszimuláció – űrszimulációs kamrák evakuálása
- Szállítókamrák – szilíciumlapkák gyártásához
- Munkakamrák – főleg félvezetők gyártásához
