Bevonatolás plazma használatával

A részecskekeverékek plazmaállapotát gyakran az anyag negyedik halmazállapotának is nevezik. Normál nyomáson plazma csak akkor hozható létre, ha a gázt eléggé felhevítik ahhoz, hogy molekulái átalakuljanak ionokká és elektronokká. Ám nagyon alacsony nyomáson maga hőmérséklet alkalmazása nélkül is létrehozható a plazmaállapot.

A bevonatolási technológia arra használja fel a plazmát, hogy vékony rétegeket hozzon létre aktív anyagból, például tükör létrehozásához, vagy tapadásmentes bevonatok létrehozásához egyes alkatrészeken.

A viszonylag kényes anyagok, például a műanyag, a gumi és a természetes szálak nem használhatók fel a magas hőmérsékleten végrehajtott folyamatoknál. Amikor bevonatot készítenek ilyen anyagokon, alacsony nyomású plazmát használnak, amely 40 °C és 120 °C közötti hőmérsékleten működik. Az elemeket alaposan megtisztítják és egy kamrába helyezik, amelyet aztán kiürítenek. A vákuumrendszernek, amely a közepes és magas vákuumszintekről gondoskodik, tökéletesen megbízhatónak kell lennie, és jellemzőit hozzá kell igazítani a bevonatolási folyamathoz.


Utána folyamatgázt – például argont – juttatnak a kamrába. Ezt követően magas frekvenciájú mikrohullámú vagy elektromos energiát bocsátanak a gázra, ami plazmalángot idéz elő. Ez felhasítja a bevonóanyagot apró részecskékre, amelyeket aztán felgyorsítanak. A részecskék nagy energiával beleütköznek az elemekbe, amelyeken egyenletes réteget alkotnak. A plazma illékony melléktermékeit a vákuumszivattyúval eltávolítják, és szükség esetén gáztisztító berendezéssel semlegesítik.


A Busch több terméke is felhasználható a plazmabevonat elkészítéséhez szükséges közepes és magas vákuumok előállításához. A COBRA csavar vákuumszivattyúk terméksorából több változat különösen alkalmasnak bizonyult, Panda Roots-vákuumszivattyúval kombinálva is. Terheléstartó kamrákkal felszerelt kisebb plazmabevonó üzemekben Fossa spirál-vákuumszivattyú is használható, Zebra forgólapátos vákuumszivattyúval és turbomolekuláris vákuumszivattyúkkal kombinálva a munkakamrához.

Szeretne többet megtudni?
Vegye fel velünk közvetlenül a kapcsolatot (Busch Magyarország):
+36 24 887 308 Vegye fel a kapcsolatot
Szeretne többet megtudni?
Vegye fel velünk közvetlenül a kapcsolatot (Busch Magyarország):
+36 24 887 308 Vegye fel a kapcsolatot

Megfelelő termékek

Standard News

Legfrissebb hírek