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COBRA BC 0600 F

  • Efficacité :
    rentabilité, temps de service étendu, écoénergétique
  • Facilité d’entretien :
    intervalles d’entretien espacés
  • Fiabilité :
    fiabilité opérationnelle
  • Flexibilité :
    solution axée sur les applications
  • Fonctionnement silencieux :
    niveau sonore < 62 dB(A)
     

La pompe COBRA BC 0600 F est une pompe à vide à vis sèche reconnue de la gamme COBRA BC. Elle offre d’incroyables vitesses de pompage pour les applications solaires, d’écrans plats et de semi-conducteurs les plus exigeantes.

La gamme COBRA BC offre d’excellentes capacités de traitement des poudres et des particules résultant de sa conception à vis unique. Sa conception reconnue associe pompe auxiliaire et amplificateur de vide dans un châssis compact.

Les pompes à vide COBRA offrent des coûts de propriété réduits. Les moteurs haute efficacité et le mode ralenti augmentent l’efficacité énergétique. Il est possible de réaliser davantage d’économies grâce à un temps de service accru et à une empreinte réduite, simplifiant l’installation sur de nombreux équipements.

Applications

  • Sas de chargement (sous conditions)
  • Transfert
  • Métrologie
  • Lithographie
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
  • Traitement thermique rapide (RTA)
  • Laminage/incinération
  • Gravure d’oxyde
  • Gravure de silicone
  • Gravure de métal

COBRA – de grandes capacités pour des pompes à vide de niveau supérieur.

COBRA – de grandes capacités pour des pompes à vide de niveau supérieur.

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Données techniques

Caractéristiques techniques
La pompe à vide à vis COBRA BC 0600 F fonctionne avec deux rotors à vis tournant en sens opposé permettant de capturer le fluide entre le cylindre et les chambres à vis et de le transporter jusqu’à l’échappement des gaz. Le mécanisme à vis limite les zones de glissement à l’intérieur de la pompe, assurant ainsi des capacités de traitement des poudres et de redémarrage optimales.

La conception de vis perfectionnée réduit la consommation d’énergie électrique en comparaison avec les modèles à vis standards. Elle engendre également une charge thermique inférieure des gaz comprimés. Les pompes de la gamme BC utilisent une méthode de refroidissement direct pour une répartition uniforme de la température dans tout le corps de la pompe, supprimant les points froids et offrant une enveloppe d’eau thermiquement stable.

La conception de vis unique « en porte-à-faux » élimine les problèmes de roulement d’admission et réduit l’encombrement.

La pompe à vide COBRA BC 0600 F utilise un amplificateur de vide ultra performant afin d’optimiser les performances du système.

Schéma
Capacité d’aspiration

Air à 20 °C. Tolérance: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Capacité d’aspiration
Spécifications techniques COBRA BC 0600 F
Vitesse de pompage nominale 520 m³/h
Pression finale 0,003 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 1,5 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Consommation électrique à la pression finale 2,1 / 1,1 kW
Niveau sonore (ISO 2151) 62 dB(A)
Consommation d'eau 3,0 l/min
Consommation d'azote 0-50 l/min
Poids approx. 315 kg
Dimensions (L x W x H) 933 x 354 x 694 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Données techniques

Caractéristiques techniques
La pompe à vide à vis COBRA BC 0600 F fonctionne avec deux rotors à vis tournant en sens opposé permettant de capturer le fluide entre le cylindre et les chambres à vis et de le transporter jusqu’à l’échappement des gaz. Le mécanisme à vis limite les zones de glissement à l’intérieur de la pompe, assurant ainsi des capacités de traitement des poudres et de redémarrage optimales.

La conception de vis perfectionnée réduit la consommation d’énergie électrique en comparaison avec les modèles à vis standards. Elle engendre également une charge thermique inférieure des gaz comprimés. Les pompes de la gamme BC utilisent une méthode de refroidissement direct pour une répartition uniforme de la température dans tout le corps de la pompe, supprimant les points froids et offrant une enveloppe d’eau thermiquement stable.

La conception de vis unique « en porte-à-faux » élimine les problèmes de roulement d’admission et réduit l’encombrement.

La pompe à vide COBRA BC 0600 F utilise un amplificateur de vide ultra performant afin d’optimiser les performances du système.

Schéma
Capacité d’aspiration

Air à 20 °C. Tolérance: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Capacité d’aspiration
Spécifications techniques COBRA BC 0600 F
Vitesse de pompage nominale 520 m³/h
Pression finale 0,003 hPa (mbar)
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 1,5 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Consommation électrique à la pression finale 2,1 / 1,1 kW
Niveau sonore (ISO 2151) 62 dB(A)
Consommation d'eau 3,0 l/min
Consommation d'azote 0-50 l/min
Poids approx. 315 kg
Dimensions (L x W x H) 933 x 354 x 694 mm
Aspiration/échappement de gaz DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Téléchargements

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