COBRA BC 0600 F
Pompe à vide sèche à vis
La solution idéale pour les applications semi-conducteurs légères à moyennes
Haute performance
Concept de vis perfectionné, structure en forme de cloche, vis auto-équilibrées brevetées, excellentes qualités de fonctionnement, pompe booster intégrée, parfaitement adaptée aux travaux en sas de chargement et chambres de transfert, ainsi qu'aux travaux de métrologie, de lithographie, de dépôt physique en phase vapeur et de recuit thermique rapide
Efficace
Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement direct par eau
Compacte
Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Fabrication de semi-conducteurs
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Moyenne