COBRA BC 0600 F
Bomba de vacío de tornillo de funcionamiento en seco
La solución ideal para aplicaciones poco o medianamente exigentes de semiconductores
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, construcción en forma de campana, tornillos autoequilibrados patentados, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para tareas en las cámaras de load lock y transferencia, metrología, litografía, deposición física del vapor y recocido térmico rápido
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, refrigeración por agua directa
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Producción de semiconductores
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Medio