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  • cobra_ds_2610_3161_e

COBRA DS 2610–3161 A/E

Vis

La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants

Haute performance

Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, parfaitement adaptée au dépôt chimique en phase vapeur, au recuit thermique rapide ou au dépôt par couche atomique

Efficace

Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement indirect par eau efficace, débit d'hydrogène élevé

Compacte

Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, pompe primaire et pompe booster combinées sur un cadre de base compact

Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Fabrication d'écrans plats
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Diode électroluminescente organique (OLED)
  • Sas de chargement
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Métallurgie
  • Revêtements
Fabrication de semi-conducteurs
  • Lourde
Industrie de l'énergie solaire
  • Sas de chargement
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
Téléchargements