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COBRA DS 1200/1800 A

Vis

La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants

Haute performance

Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, parfaitement adaptée aux applications solaires, d'écrans plats et de semi-conducteurs, ainsi qu'aux procédés exigeants avec des gaz à haute température, comme la gravure et le dépôt chimique en phase vapeur, excellente manutention des poudres, vis à revêtement tantale pour applications exigeantes

Efficace

Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, débit d'hydrogène élevé, faible consommation d'énergie, contrôle de température variable

Compacte

Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, pompe primaire et pompe booster combinées sur un cadre de base compact, faible niveau de vibration

Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Fabrication d'écrans plats
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Diode électroluminescente organique (OLED)
  • Sas de chargement
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Métallurgie
  • Revêtements
Fabrication de semi-conducteurs
  • Lourde
Industrie de l'énergie solaire
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
Téléchargements