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COBRA BA 0100 C

COBRA BA 0100 C es la bomba de vacío de tornillos de compresión en seco más adecuada para la evacuación de cámaras de recarga y otros procesos exigentes que tienen lugar durante la producción de células fotovoltaicas, pantallas planas y semiconductores. Gracias a su eficiente refrigeración por aire, y a la mayor velocidad de bombeo de su clase, esta bomba de vacío es ideal para todas las aplicaciones en las que se necesite una generación de vacío eficaz, rápida y fiable. Las bombas de vacío COBRA funcionan sin aceite y sin contacto, lo que permite evacuar medios cargados de partículas.

La bomba COBRA BA 0100 C está equipada con un motor de gran eficiencia que dispone de modo reposo. De esta forma, se pueden conseguir unos notables ahorros de energía.
Gracias a su diseño compacto, la COBRA BA 0100 C requiere muy poco espacio para su instalación; además sus necesidades energéticas son extraordinariamente bajas, lo que permite mantener los costes operativos al mínimo.

Aplicaciones

  • DQV (Deposición Química de Vapor) de plasma de alta densidad
    (HDP-CVD)
  • Proceso térmico rápido (RTP)
  • DQV a presión subatmosférica (SACVD)
  • DQV mediante procesos químicos organometálicos (MOCVD)
  • DQV mejorada por plasma (PECVD)
  • DQV de baja presión (LPCVD)
  • Deposición de capa atómica (ALD)
  • Aplicaciones de cámaras de recarga

COBRA – la última generación de bombas de vacío con funcionamiento en seco para procesos exigentes.

COBRA – la última generación de bombas de vacío con funcionamiento en seco para procesos exigentes.

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Especificaciones técnicas

La COBRA BA 0100 C es una bomba de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores de tornillo giran sincronizados dentro del cilindro, atrapando y comprimiendo el medio a bombear, el cual se transporta hacia el escape. Durante el proceso de compresión los rotores de tornillo no entran en contacto entre sí ni con el cilindro, por lo que no se precisan lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión. La última novedad en el diseño de los tornillos consiste en un rotor en voladizo que reduce enormemente el consumo energético y evita que los gases alcancen temperaturas altas durante la compresión. La bomba COBRA BA 0100 C incorpora, de serie, un eficaz sistema de refrigeración por aire.
 

Dibujo COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Velocidad de bombeo

Aire a 20 °C. Tolerancia: ±10%

50 Hz 60 Hz
Velocidad de bombeo
Características técnicas BA 0100 C
Caudal nominal 85 m³/h
Vacío límite 0,01 hPa (mbar)
Potencia nominal del motor 1,5 kW
Velocidad nominal del motor 3000 min-1
Consumo energético a presión final 1,1 kW
Nivel sonoro (ISO 2151) 58 dB(A)
Consumo de nitrógeno 0–50 l/min
Peso aproximado 120 kg
Dimensiones (L × W × H) 634 x 304 x 338 mm
Entrada / Escape de gases DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Especificaciones técnicas

La COBRA BA 0100 C es una bomba de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores de tornillo giran sincronizados dentro del cilindro, atrapando y comprimiendo el medio a bombear, el cual se transporta hacia el escape. Durante el proceso de compresión los rotores de tornillo no entran en contacto entre sí ni con el cilindro, por lo que no se precisan lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión. La última novedad en el diseño de los tornillos consiste en un rotor en voladizo que reduce enormemente el consumo energético y evita que los gases alcancen temperaturas altas durante la compresión. La bomba COBRA BA 0100 C incorpora, de serie, un eficaz sistema de refrigeración por aire.
 

Dibujo
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Velocidad de bombeo

Aire a 20 °C. Tolerancia: ±10%

50 Hz
60 Hz
Velocidad de bombeo
Características técnicas BA 0100 C
Caudal nominal 85 m³/h
Vacío límite 0,01 hPa (mbar)
Potencia nominal del motor 1,5 kW
Velocidad nominal del motor 3000 min-1
Consumo energético a presión final 1,1 kW
Nivel sonoro (ISO 2151) 58 dB(A)
Consumo de nitrógeno 0–50 l/min
Peso aproximado 120 kg
Dimensiones (L × W × H) 634 x 304 x 338 mm
Entrada / Escape de gases DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

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