Por favor, actualiza tu navegador.

Parece que estás utilizando una versión antigua del navegador Microsoft Edge. Para obtener la mejor experiencia con el sitio web de Busch, actualice su navegador.

  • cobra_ds_5161_9161_a

COBRA DS 5161–9161 A/B/F

Tornillo

La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes

Alto rendimiento

Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para la deposición química de vapor, los tratamientos térmicos rápidos o la deposición de capas atómicas

Eficientes

Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad. eficaz refrigeración por agua indirecta, gran capacidad de hidrógeno

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Producción de pantallas planas
  • Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
  • Cámaras Load Lock
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
  • Deposición física de vapor (PVD)
Producción de baterías de iones de litio
  • Desgasificación
Producción de semiconductores
  • Medio
  • Duro
  • Sencillo
Industria de la energía solar
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)