COBRA BC 0601–1200 A/G
Bombas de vacío de tornillo en seco
La solución ideal para aplicaciones poco o medianamente exigentes de semiconductores
Alto rendimiento
Diseño avanzado del tornillo, construcción en forma de campana, tornillos autoequilibrados patentados, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para procesos de deposición de capas atómicas en frío, cámaras de load lock y transferencia, metrología, litografía, deposición física del vapor, recocido térmico rápido y procesos de decapado como óxido, silicona y metal
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, refrigeración por agua directa
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados sobre una bancada compacta
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
-
Refinado: adsorción por cambio de presión
-
Medio
-
Deposición física de vapor (PVD)