Torri multi-stage rotary lobe vakuumpumper er den kompakte og energieffektive løsning til nedpumpning af load lock chambers.

De kendetegnes af lavt sluttryk og klassens bedste kammernedpumpningstid.

 

Funktionsprincip

Torri BD vakuumpumper fungerer ifølge det gennemtestede rotorprincip.

Rotorernes rotation indespærrer det pumpede medie, transporterer det fra trin til trin og til slut til udløbet.

Takket være rotorernes særlige profil og deres præcise fremstilling, kommer de ikke i kontakt med hinanden eller huset. Der kræves desuden ingen smøremidler eller driftsvæsker i kompressionskammeret.

Rotorerne drives af en direkte sammenkoblet, synkron, vandafkølet, elektrisk motor.