13 år i drift - COBRA BC når en milepæl hos GlobalFoundries Fab 1

Tretten års kontinuerlig drift, svarende til over 21,1 milliarder omdrejninger ved 50 Hz. Midt i januar 2017 passerede en COBRA BC tørtløbende skruevakuumpumpe denne bemærkelsesværdige milepæl på en semiconductor fabrik i Tyskland og lever dermed op til sit ry for robusthed, pålidelighed og lav vedligeholdelse.
Source: Busch Dienste GmbH
Source: Busch Dienste GmbH

Den pågældende COBRA BC har været i kontinuerlig drift på GlobalFoundries' produktionsanlæg i Dresden, Tyskland siden 2005, og er den COBRA BC hos GlobalFoundries' som har været i drift i længst tid på stedet, på Fab 1. Fab 1 i Dresden var den første fabrik i verden der producerede mikrochip med kobberledninger i industrielle mængder. Den teknologi der nu er basis for semiconductor produktionen i hele verden.

Der er installeret i alt 194 COBRA BC 0100 tørtløbende skruevakuumpumper på fabrikken i Dresden, som producerer 300 mm wafers til semiconductor industrien. 47 af disse COBRA BC'er har været i kontinuerlig drift i over 10 år, og 22 af COBRA BC'erne har passeret milepælen på 100.000 driftstimer (over 11 års drift).

COBRA BC vakuumpumper anvendes overvejende i load lock applikationer som epitaksi og processer med fysisk dampudfældning (PVD), såvel som i andre forureningsfri processer til wafer håndtering og målinger, for at sikre kvaliteten af litografiprocessen.

COBRA BC 0100 F er en tørtløbende skruevakuumpumpe i COBRA BC-seriens portefølje, der tilbyder en avanceret, kompakt løsning til load lock applikationer med yderligere procesegenskaber til de mest krævende solcelle-, fladskærms- og semiconductor-anvendelsesområder. Den har fremragende pulverhåndtering kapacitet som følge af dens unikke skruepumpedesign.

COBRA BC serien fås også i en COBRA BC Premium Efficiency klasse, med et reduceret energiforbrug, der kan sænke strømforbruget med op til 40 %. Premium Efficiency klassen, er baseret på COBRA BC'ens gennemtestede teknologiplatform.

Busch vakuumpumper og systemer har et serviceteam i Dresden, der består af ni serviceteknikere og en team-ansvarlig, som arbejder efter et 24/7 skifteholdssystem, hvilket sikrer meget høj tilgængelighed af de hundredvis af installerede Busch vakuumpumper. Serviceteamet vedligeholder desuden systemerne til nedbringelse af spildgas.

GlobalFoundries er blandt verdens førende selskaber i semiconductor industrien og producerer 40 nm til (i den nærmeste fremtid) 22 nm noder på Fabrikken i Dresden. Fabrikken i Dresden er Europas største anlæg til produktion af mikrochip.


Kategorier
Vil du vide mere?
Kontakt os direkte i (Busch Danmark)
+45 (0)87 88 07 77 Kontakt os