Diffusions-Vakuumpumpen bestehen im Wesentlichen aus einem zylindrischen Pumpenkörper mit einem beheizbaren Boden.
Darüber befindet sich als Treibmittel Öl, das erhitzt wird und dessen Dampf in einem Düsensystem aufsteigt und über mehrere Dampfstrahlstufen aus diesem System unter hohem Druck wieder austritt. Die Moleküle des Prozessgases werden von diesen Dampfstrahlen erfasst und nach unten befördert, wo sich der Auslass zur Vorpumpe befindet. Der Öldampf kondensiert an der Innenfläche des wassergekühlten Pumpenkörpers aus und fließt zum Boden zurück.
Durch das mehrstufige, innovative Düsenkonzept bieten Diffusions-Vakuumpumpen eine extrem hohe und stabile Saugleistung.
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