Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Flachbildschirmproduktion
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
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Organische Leuchtdiode (OLED)
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Load-Lock-Kammern
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Metallurgie
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Beschichten
Halbleiterproduktion
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Hart
Solarindustrie
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Load-Lock-Kammern
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)