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COBRA DS 1200/1800 A

Schraube

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen sowie für beanspruchende Prozesse mit hohen Gastemperaturen, wie Ätzen und chemische Gasphasenabscheidung, hervorragende Partikelverträglichkeit, tantalbeschichtete Schraube für strapazierende Anwendungen

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, hoher Wasserstoffdurchsatz, geringer Energieverbrauch, variable Temperaturüberwachung

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen, vibrationsarm

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Organische Leuchtdiode (OLED)
  • Load-Lock-Kammern
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Metallurgie
  • Beschichten
Halbleiterproduktion
  • Hart
Solarindustrie
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)