Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithographie, physikalische Gasphasenabscheidung und Rapid Thermal Annealing
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor
Halbleiterproduktion
-
Mittel