Turbomolekulární vývěvy pracují na turbínovém principu. Rychle se otáčející rotorové lopatky se otáčejí mezi statorovými lopatkami. Tím se způsobí odesílání impulsů k neuspořádaným částicím plynu ve vývěvě, což zase vyvolá řízený proud plynu směrem od sání k výtlaku vývěvy. Aby se vytvořil tento pohyb, dosahují rotory obvodové rychlosti až >30 000 min-1.
Zabudovaný vysokotlaký stupeň umožňuje vyšší předřadný podtlak a tedy menší předřadné vývěvy a účinnější podtlakový systém. Doživotně namazané keramické ložisko zvyšuje životnost na více než 200 000 provozních hodin.
Produkty:
13 Years in Operation - COBRA BC Achieves Milestone at GlobalFoundries