Ve společnosti Busch nabízíme to nejrozsáhlejší portfolio vývěv a vakuových systémů pro všechny oblasti použití v odvětví polovodičové výroby.
Naši technici disponují dlouholetou praxí a jsou připraveni poradit vám ve všech oblastech vakuových řešení ve vašem závodě, počínaje řešeními pro použití plnicích komor, přes nejnáročnější způsoby použití vakua a konče navržením centralizovaného vakuového systému. V našem obsáhlém produktovém portfoliu suchých vývěv vždy naleznete to technicky nejlepší a nejméně nákladné řešení právě pro vás.
Soustředíme se na to, abychom byli schopni pokaždé poskytnout optimální produktové řešení, které snižuje celkové náklady na vlastnictví a zvyšuje spolehlivost použití v oblastech:
- plnicích a zakládacích komor,
- předčištění,
- fyzikální depozice par (PVD) nebo pokovování,
- iontové implantace,
- leptání,
- chemického nanášení výparů (CVD, LPCVD, PECVD),
- EPI,
- nanášení vrstev tloušťky atomu (ALD).
ŘEŠENÍ V OBLASTI ZPRACOVÁNÍ POLOVODIČŮ
Suché šroubové vývěvy COBRA
Naše suché šroubové vývěvy COBRA BA, BC a DS jsou určeny pro konkrétní způsoby použití u polovodičových řešení. Suchá šroubová vývěva COBRA BA, která je chlazená vzduchem, představuje velmi účinné a kompaktní řešení při jednoduchých a středně náročných aplikacích vakua. Vývěva COBRA BC představuje velmi účinné a kompaktní řešení při jednoduchých a středně náročných aplikacích vakua. Vývěva COBRA BA představuje ideální řešení pro ty nejnáročnější způsoby použití vakua v závodě.
Podívejte se na vývěvy COBRA a jejich využití v oblasti polovodičových aplikací
Suché šroubové vývěvy COBRA BC – Premium Efficiency
Vývěvy COBRA BC třídy „Premium Efficiency" jsou speciálně navrženy tak, aby zavedly nový standard v oblasti energetické účinnosti. Tato vývěva je vybavená nejmodernější technologií Busch VacBoost, čímž je zaručeno splnění současných vysokých nároků na energetickou úsporu a ekologickou udržitelnost. Funkce inteligentního pohotovostního režimu spolu s celou škálou dalších flexibilních a volnoběžných režimů představují další možnost energetické úspory.
Podívejte se na vývěvy COBRA a jejich využití v oblasti polovodičových aplikací
Spirálové vývěvy Fossa
Spirálové vývěvy Fossa jsou ideálně přizpůsobené pro generaci středního vakua v plnicích a zakládacích komorách, heliových detektorech netěsností, hmotnostních spektrometrech, elektronových mikroskopech a dalších analytických přístrojích. Také se používají v procesech plynového hospodářství, které vyžaduje maximální úroveň čistoty v procesu těžby plynu.
Viz Fossa
BUSCH VACUUM SERVICE – LÍDR V POSKYTOVÁNÍ PRÉMIOVÝCH SLUŽEB
Díky 12 velkým polovodičovým servisním střediskům po celém světě a mnoha servisním týmům v terénu nabízíme našim zákazníkům bezproblémovou, rychlou a spolehlivou podporu. A to ať už se jedná o odstraňování poruch, údržbu, repasi nebo výměnu vývěv přímo v těchto střediscích nebo v areálu závodu daného zákazníka. Naše nabídka zahrnuje repasi vakuových produktů od jiných výrobců, včetně suchých vývěv, rotačních lamelových vývěv, turbomolekulárních vývěv a kryogenních čerpadel.
