Prověřená technologie, prověřené provedení –
rozhodněte se pro nejlepší řešení

COBRA BA 0100 C

COBRA BA 0100 C je prověřená suchá šroubová vývěva pro evakuaci komor se systémem „load-lock“ a další náročné procesy používané při výrobě fotovoltaických článků, plochých obrazovek a polovodičů. Se svým účinným vzduchovým chlazením a nejvyšší čerpací rychlostí ve své výkonové třídě je tato vývěva ideální pro všechny aplikace vyžadující účinné, rychlé a spolehlivé generování vakua. Technologie vývěv COBRA je bezolejová a bezkontaktní, což umožňuje vyprazdňování médií obsahujících částice.

COBRA BA 0100 C je vybavena vysoce účinným motorem s funkcí pohotovostního režimu, což nabízí optimální potenciál úspor energie.

Kompaktní konstrukce vývěv COBRA BA 0100 C vyžaduje velmi málo prostoru a jejich extrémně nízké energetické požadavky udržují provozní náklady na minimu.

Použití

  • Plasmové CVD vysoké hustoty (HDP CVD)
  • Rychlé tepelné zpracovávání (RTP)
  • Sub-atmosférické CVD (SACVD)
  • Kovové organické CVD (MOCVD)
  • Plazmaticky vylepšené CVD (PECVD)
  • Nízkotlaké CVD (LPCVD)
  • Nanášení vrstev tloušťky atomu (ALD)
  • Aplikace s „load-lock“ systémy

COBRA – nová generace suchých vývěv pro náročné procesy.

COBRA – nová generace suchých vývěv pro náročné procesy.

Chcete vědět víc?
Obraťte se na nás (Busch Česká republika):
+420 530 504 410 Kontaktovat

Technická data

COBRA BA 0100 C je jednostupňová vývěva s dvojicí hřídelových šroubů. Dva šroubové rotory se otáčí ve válci, zachycují a stlačují čerpané médium a přepravují jej k výtlaku plynu. Během procesu stlačování se šroubové rotory vzájemně nedotýkají, ani se nedotýkají válce, takže ve stlačovací komoře nejsou nutná žádná maziva, ani provozní média. Nejnovější vývoj šroubové konstrukce se vyznačuje jednostranným ložiskem, čímž se dramaticky snižuje spotřeba energie a zamezuje se dosahování vysokých teplot plynu při stlačování. Vývěva COBRA BA 0100 C obsahuje ve standardním provedení účinné vzduchové chlazení.
 

Kresba COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Čerpací rychlost

Vzduch při teplotě 20 °C. Tolerance: ±10%

50 Hz 60 Hz
Čerpací rychlost
Technická data BA 0100 C
Jmenovitá čerpací rychlost 85 m³/h
Koncový tlak 0,01 hPa (mbar)
Jmenovitý výkon motoru 1,5 kW
Jmenovité otáčky motoru 3000 min-1
Spotřeba energie při koncovém tlaku 1,1 kW
Hladina hluku (ISO 2151) 58 dB(A)
Spotřeba dusíku 0–50 l/min
Přibližná hmotnost 120 kg
Rozměry (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Přívod / výstup plynu DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Technická data

COBRA BA 0100 C je jednostupňová vývěva s dvojicí hřídelových šroubů. Dva šroubové rotory se otáčí ve válci, zachycují a stlačují čerpané médium a přepravují jej k výtlaku plynu. Během procesu stlačování se šroubové rotory vzájemně nedotýkají, ani se nedotýkají válce, takže ve stlačovací komoře nejsou nutná žádná maziva, ani provozní média. Nejnovější vývoj šroubové konstrukce se vyznačuje jednostranným ložiskem, čímž se dramaticky snižuje spotřeba energie a zamezuje se dosahování vysokých teplot plynu při stlačování. Vývěva COBRA BA 0100 C obsahuje ve standardním provedení účinné vzduchové chlazení.
 

Kresba
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Čerpací rychlost

Vzduch při teplotě 20 °C. Tolerance: ±10%

50 Hz
60 Hz
Čerpací rychlost
Technická data BA 0100 C
Jmenovitá čerpací rychlost 85 m³/h
Koncový tlak 0,01 hPa (mbar)
Jmenovitý výkon motoru 1,5 kW
Jmenovité otáčky motoru 3000 min-1
Spotřeba energie při koncovém tlaku 1,1 kW
Hladina hluku (ISO 2151) 58 dB(A)
Spotřeba dusíku 0–50 l/min
Přibližná hmotnost 120 kg
Rozměry (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Přívod / výstup plynu DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Ke stažení

COBRA BA 0100 C

Nenašli jste vhodný produkt?

Standard News

Nejnovější zprávy