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COBRA BC 1000 / 2000 F

Las bombas COBRA BC 1000 F y BC 2000 F son bombas de vacío de tornillos, con funcionamiento en seco, de la serie COBRA BC. Su elevada velocidad de bombeo, y gran caudal de hidrógeno, las convierte en las bombas idóneas para los exigentes procesos que tienen lugar durante la fabricación de células fotovoltaicas, pantallas planas y semiconductores. Las bombas de vacío COBRA funcionan sin aceite y sin contacto, lo que permite evacuar polvo y medios cargados de partículas.

Tanto la bomba COBRA BC 1000 F como la bomba BC 2000 F incorporan, de serie, una bomba aceleradora (Roots) que ofrece mayor velocidad de bombeo y vacío límite. La bomba primaria y la Roots están montadas en una bancada formando un grupo compacto.

Las bombas COBRA BC 1000 F y BC 2000 F están equipadas con motores de alta eficiencia que disponen de modo reposo; de esta forma se pueden conseguir importantes ahorros de energía.

Gracias a su diseño compacto requieren muy poco espacio para su instalación y sus necesidades energéticas, extremadamente bajas, permiten mantener al mínimo los costes operativos. Además, la larga vida útil de las bombas de vacío COBRA BC contribuye a reducir aún más los costes totales. La incorporación de estas bombas de vacío de tornillos a sistemas ya existentes es rápida y sencilla.

Aplicaciones

  • • DQV (Deposición Química de Vapor) de plasma de alta densidad
    (HDP-CVD)
  • Proceso térmico rápido (RTP)
  • DQV a presión subatmosférica (SACVD)
  • DQV mediante procesos químicos organometálicos (MOCVD)
  • DQV mejorada por plasma (PECVD)
  • DQV de baja presión (LPCVD)
  • Deposición de capa atómica (ALD)
  • Cámaras de recarga

COBRA – la última generación de bombas de vacío con funcionamiento en seco para procesos exigentes.

COBRA – la última generación de bombas de vacío con funcionamiento en seco para procesos exigentes.

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Especificaciones técnicas

Especificaciones técnicas
Las bombas COBRA BC 1000 F y BC 2000 F son bombas de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores en forma de tornillo giran sincronizados dentro de un cilindro, atrapando y comprimiendo el medio a bombear, el cual es transportado hacia el escape. Durante el proceso de compresión, los rotores no entran en contacto entre sí ni con el cilindro, por lo que no se requieren lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión.

El diseño de los tornillos, de última generación, permite obtener un bajo consumo energético y evita que los gases alcancen temperaturas altas durante la compresión. Esta moderna tecnología de tornillos permite, también, alcanzar velocidades de bombeo extremadamente altas para la evacuación de hidrógeno. Se utiliza una bomba de vacío Roots como bomba aceleradora junto con la bomba de vacío de tornillos, consiguiendo, de esta forma,  una unidad compacta.

La eficiente refrigeración indirecta, por agua, consigue una temperatura uniforme en toda la bomba de vacío y garantiza la estabilidad térmica de la COBRA BC durante todo el proceso.

 

Dibujo COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Velocidad de bombeo

Aire a 20 °C. Tolerancia: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Velocidad de bombeo
Características técnicas COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Caudal nominal 930 m³/h 1580 m³/h
Bomba primaria de rendimiento nominal del motor 1,5 kW 2,9 kW
Booster de vacío de rendimiento nominal del motor 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Vacío Límite 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Nivel sonoro (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo de agua 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo de nitrógeno 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 310 kg 360 kg
Dimensiones (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Entrada / salida de gas DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Todos los datos de rendimiento se basan en unas condiciones ambiente de 14,7 PSIA y de 70 °F, y tienen una tolerancia de ±10 %.    

Especificaciones técnicas

Especificaciones técnicas
Las bombas COBRA BC 1000 F y BC 2000 F son bombas de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores en forma de tornillo giran sincronizados dentro de un cilindro, atrapando y comprimiendo el medio a bombear, el cual es transportado hacia el escape. Durante el proceso de compresión, los rotores no entran en contacto entre sí ni con el cilindro, por lo que no se requieren lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión.

El diseño de los tornillos, de última generación, permite obtener un bajo consumo energético y evita que los gases alcancen temperaturas altas durante la compresión. Esta moderna tecnología de tornillos permite, también, alcanzar velocidades de bombeo extremadamente altas para la evacuación de hidrógeno. Se utiliza una bomba de vacío Roots como bomba aceleradora junto con la bomba de vacío de tornillos, consiguiendo, de esta forma,  una unidad compacta.

La eficiente refrigeración indirecta, por agua, consigue una temperatura uniforme en toda la bomba de vacío y garantiza la estabilidad térmica de la COBRA BC durante todo el proceso.

 

Dibujo
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Velocidad de bombeo

Aire a 20 °C. Tolerancia: ± 10 %

50 Hz
60 Hz
Velocidad de bombeo
Características técnicas COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Caudal nominal 930 m³/h 1580 m³/h
Bomba primaria de rendimiento nominal del motor 1,5 kW 2,9 kW
Booster de vacío de rendimiento nominal del motor 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Vacío Límite 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Nivel sonoro (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo de agua 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo de nitrógeno 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 310 kg 360 kg
Dimensiones (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Entrada / salida de gas DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Todos los datos de rendimiento se basan en unas condiciones ambiente de 14,7 PSIA y de 70 °F, y tienen una tolerancia de ±10 %.    

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COBRA BC 1000 / 2000 F

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