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COBRA BC 0100 / 0200 F

COBRA BC 0100 F es la nueva bomba de vacío de tornillo con funcionamiento en seco para la evacuación de cámaras de recarga y otros procesos exigentes que tienen lugar durante la producción de células fotovoltaicas, pantallas planas y semiconductores. Gracias a su eficiente refrigeración por agua y a la mayor velocidad de bombeo en bombas de su clase, esta bomba de vacío es ideal para todas las aplicaciones en las que se necesite una generación de vacío eficaz, rápida y fiable. Las bombas de vacío COBRA funcionan sin aceite y sin contacto, lo que permite evacuar medios cargados de partículas.

La bomba COBRA BC 0100 F está equipada con un motor de gran eficiencia que dispone de modo reposo. De esta forma, se pueden conseguir unos notables ahorros de energía.

Gracias a su diseño compacto, la COBRA BC 0100 F requiere muy poco espacio para su instalación; además sus necesidades energéticas son extraordinariamente bajas, lo que permite mantener los costes operativos al mínimo.

Aplicaciones

  • DQV (Deposición Química de Vapor) de plasma de alta densidad
    (HDP-CVD)
  • Proceso térmico rápido (RTP)
  • DQV a presión subatmosférica (SACVD)
  • DQV mediante procesos químicos organometálicos (MOCVD)
  • DQV mejorada por plasma (PECVD)
  • DQV de baja presión (LPCVD)
  • Deposición de capa atómica (ALD)
  • Aplicaciones de cámaras de recarga

COBRA – la última generación de bombas de vacío con funcionamiento en seco para procesos exigentes.

COBRA – la última generación de bombas de vacío con funcionamiento en seco para procesos exigentes.

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Especificaciones técnicas

Especificaciones técnicas
La COBRA BC 0100 F es una bomba de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores de tornillo giran sincronizados dentro del cilindro, atrapando y comprimiendo el medio medio a bombear, el cual se transporta hacia el escape. Durante el proceso de compresión los rotores de tornillo no entran en contacto entre sí ni con el cilindro, por lo que no se precisan lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión. La última novedad en el diseño de tornillos consiste en montar un rodamiento en un solo extremo, lo que reduce enormemente el consumo energético y evita que los gases alcancen temperaturas altas durante la compresión. La bomba COBRA BC 0100 F incorpora, de serie, un sistema de refrigeración por agua que permite mantener una temperatura uniforme en toda la bomba de vacío.
 

Dibujo COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Velocidad de bombeo

Aire a 20 °C. Tolerancia: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Velocidad de bombeo
Características técnicas COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Caudal nominal 100 m³/h 165 m³/h
Vacío Límite 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Potencia nominal del motor 1,5 kW 2,9 kW
Velocidad nominal del motor 3600 min-1 4570 min-1
Consumo energético a presión final 1,3 kW 1,6 kW
Nivel sonoro (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo de agua min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min
Consumo de nitrógeno 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 120 m³/h 130 kg
Dimensiones (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Entrada / salida de gas DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Especificaciones técnicas

Especificaciones técnicas
La COBRA BC 0100 F es una bomba de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores de tornillo giran sincronizados dentro del cilindro, atrapando y comprimiendo el medio medio a bombear, el cual se transporta hacia el escape. Durante el proceso de compresión los rotores de tornillo no entran en contacto entre sí ni con el cilindro, por lo que no se precisan lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión. La última novedad en el diseño de tornillos consiste en montar un rodamiento en un solo extremo, lo que reduce enormemente el consumo energético y evita que los gases alcancen temperaturas altas durante la compresión. La bomba COBRA BC 0100 F incorpora, de serie, un sistema de refrigeración por agua que permite mantener una temperatura uniforme en toda la bomba de vacío.
 

Dibujo
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Velocidad de bombeo

Aire a 20 °C. Tolerancia: ± 10 %

50 Hz
60 Hz
Velocidad de bombeo
Características técnicas COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Caudal nominal 100 m³/h 165 m³/h
Vacío Límite 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Potencia nominal del motor 1,5 kW 2,9 kW
Velocidad nominal del motor 3600 min-1 4570 min-1
Consumo energético a presión final 1,3 kW 1,6 kW
Nivel sonoro (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo de agua min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min
Consumo de nitrógeno 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 120 m³/h 130 kg
Dimensiones (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Entrada / salida de gas DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

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