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TORRI BD 0100 A

多级罗茨真空泵

Torri - 用于 load lock 腔的紧凑、高效解决方案。
灵活
对 Load Lock 腔体实现最短抽真空时间
高效
极低能耗、最少维护工作量,长正常运行时间
结构紧凑
尺寸小巧,重量轻盈

技术说明

尺寸 TORRI BD 0100 A
TORRI BD 0100 A
抽气速率

空气温度为 20°C 时的公差:± 10%

50 Hz 60 Hz
抽气速率
技术参数 BD 0100 A
额定抽速 100 m³/h
极限压力 0.01 hPa (mbar)
电机额定功率 2.2 kW
电机额定转速 5500 min-1
极限压力时的功耗 0.4 kW
噪声等级 (ISO 2151) < 60 dB(A)
用水量 min. 1.0 l/min
重量(约) 60 kg
尺寸(长 x 宽 x 高) 450 x 230 x 275 mm
进气口/排气口 DN 50 KF / DN 25 KF
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TORRI BD 0100 A

多级罗茨真空泵

Torri - 用于 load lock 腔的紧凑、高效解决方案。
灵活
对 Load Lock 腔体实现最短抽真空时间
高效
极低能耗、最少维护工作量,长正常运行时间
结构紧凑
尺寸小巧,重量轻盈

技术说明

尺寸
TORRI BD 0100 A
TORRI BD 0100 A
抽气速率

空气温度为 20°C 时的公差:± 10%

50 Hz
60 Hz
抽气速率
技术参数 BD 0100 A
额定抽速 100 m³/h
极限压力 0.01 hPa (mbar)
电机额定功率 2.2 kW
电机额定转速 5500 min-1
极限压力时的功耗 0.4 kW
噪声等级 (ISO 2151) < 60 dB(A)
用水量 min. 1.0 l/min
重量(约) 60 kg
尺寸(长 x 宽 x 高) 450 x 230 x 275 mm
进气口/排气口 DN 50 KF / DN 25 KF

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