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COBRA DS 5161–9161 A/B/F

干式螺杆真空泵

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵

性能出色

先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用

高效

拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高效水冷却,高氢气吞吐量

结构紧凑

密闭式设计,直联的罐装电机

技术规格

市场和应用

平板显示器生产
  • 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
  • Load lock 腔体
  • 有机发光二极管 (OLED)
  • 物理气相沉积(PVD)
锂离子电池生产
  • 脱气
半导体生产
  • 中型
  • 严苛
  • 轻型
太阳能发电行业
  • 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)