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COBRA DS 1200/1800 A

螺杆

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵

性能出色

先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成的罗茨泵,非常适用于太阳能、平板显示器和半导体应用,以及需要高温气体的严苛工艺,如:刻蚀和化学气相沉积、出色的粉末处理能力配合 tantal 涂层的螺杆,使其更适用于众多严苛应用

高效

拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高氢气吞吐量,低能耗,变温控制

结构紧凑

密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上,低振动水平

技术规格
市场和应用
平板显示器生产
  • 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
  • 有机发光二极管 (OLED)
  • Load lock 腔体
  • 物理气相沉积(PVD)
冶金
  • 涂层
半导体生产
  • 严苛
太阳能发电行业
  • 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)