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COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

螺杆

适用于轻型到中型半导体应用的理想解决方案

性能出色

先进的螺杆设计,钟形悬臂结构,荣获专利的自平衡螺杆,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于 load lock 腔和传送腔等应用

高效

最新的 Busch 普旭 VacBoost 技术,拥有成本低,维护少,正常运行时间长,直接水冷却,智能怠速模式

结构紧凑

密闭式设计,直联的罐装电机

技术规格
市场和应用
冶金
  • 涂层
半导体生产
  • 轻型