普旭(Busch)在 SEMICON / FPD China 2019 展示应用于半导体及平板显示行业的真空解决方案

Shanghai, China 在今年的 SEMICON / FPD China 2019 ,普旭(Busch)展示了应用于半导体行业最新的节能解决方案。
现场关注:外壳拆解后的 COBRA DS 3010 E 干式螺杆真空泵引起参观者极大兴趣. Source: Busch China
现场关注:外壳拆解后的 COBRA DS 3010 E 干式螺杆真空泵引起参观者极大兴趣. Source: Busch China

在我们的展位上,参观者们不仅可以详细了解我们在现场展示的集一流的抽速及极低的运行成本于一身的 COBRA DS 系列螺杆真空泵,更可以透过拆解开的外壳近距离看清我们的 COBRA DS 3010 E。

COBRA DS 干式螺杆真空泵具有干式压缩、独特的螺杆设计和无阻碍的气体排放的特点,这使之具有优良的蒸汽和颗粒耐受性,也使得 COBRA DS 系列螺杆真空泵成为光伏电池、平板和半导体生产中所有苛刻工艺的理想真空泵。

COBRA DS 3010 E还标配了一个独立的罗茨泵,因此可以提供更高的抽速和更低的极限压力。前级泵和罗茨泵组合在一个紧凑的框架上。配备了高效电机,COBRA DS 3010 E 可以节省大量能耗。由于维护要求低,运行成本低,使用寿命长,所以总体的使用成本很低,这也使得我们的COBRA DS 系列螺杆真空泵成为行业内值得信赖的真空泵。


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