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TORRI

Bombas de vacío de lóbulos rotativos multietapa

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Las bombas de vacío de lóbulos rotativos multietapa TORRI son la solución compacta y energéticamente eficiente para la evacuación de cámaras load lock.

Se caracterizan por ofrecer un vacío límite bajo y un excelente tiempo de evacuación de la cámara.

Principio de funcionamiento

Las bombas de vacío TORRI BD funcionan de acuerdo con el principio probado de lóbulos rotativos. La rotación de los lóbulos atrapa el medio bombeado y lo transporta de una fase a la otra hasta llegar a la salida.

Gracias al diseño especial de los lóbulos y a una gran precisión de fabricación, no entran en contacto entre sí ni con el cuerpo de la bomba. Además, no es necesario usar lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión.

Los lóbulos se accionan mediante un motor eléctrico síncrono refrigerado por agua que se acopla directamente.

TORRI BD

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La solución compacta y energéticamente eficiente para cámaras load lock

  • Bajos niveles sonoros y de vibración
  • Peso ligero
  • Tamaño reducido
  • Principio de funcionamiento en seco y sin contacto
  • Larga vida útil
  • Bajo coste de propiedad total

Ventajas de la serie TORRI BD

Las TORRI BD son una de las bombas de vacío de lóbulos rotativos multietapa y de funcionamiento en seco más pequeñas, ligeras y energéticamente eficientes que puede encontrar en el mercado. Por tanto, se presentan como la solución ideal para la evacuación de cámaras load lock.

Gracias a su principio de funcionamiento probado, se consigue obtener un vacío final bajo. Además, su excelente tiempo de evacuación de la cámara reduce aún más los tiempos de ciclo promedio totales.

El protocolo de comunicación totalmente abierto (Modbus RTU) puede adaptarse fácilmente a un protocolo de red específico usando componentes de interface estándar.

El controlador LCD opcional permite supervisar fácilmente el estado de la bomba. Se pueden mostrar todos los parámetros relevantes, como la temperatura del motor, la corriente del motor, el caudal del agua de refrigeración y la temperatura del cuerpo de la bomba.

Todos los productos TORRI BD

  • TORRI BD 0100–0600 A
    TORRI BD 0100–0600 A

    Vacío límite:
    min. 0,01 hPa (mbar) max. 0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 100 m³/h max. 600 m³/h

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